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Principles of Vapor Deposition of Thin Films

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Harsha, K.S. Sree 作者
Elsevier Science Ltd
译者
2006-1 出版日期
1176 页数
$ 350.30 价格
HRD
丛书系列
9780080446998 图书编码

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发表于2024-11-24


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Principles of Vapor Deposition of Thin Films 在线电子书 图书描述

The goal of producing devices that are smaller, faster, more functional, reproducible, reliable and economical has given thin film processing a unique role in technology. "Principles of Vapor Deposition of Thin Films" brings in to one place a diverse amount of scientific background that is considered essential to become knowledgeable in thin film depostition techniques. Its ultimate goal as a reference is to provide the foundation upon which thin film science and technological innovation are possible. It offers detailed derivation of important formulae. It thoroughly covers the basic principles of materials science that are important to any thin film preparation. Careful attention is paid to terminologies, concepts and definitions, as well as abundance of illustrations offer clear support for the text.

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