Glow Discharge Processes 在线电子书 pdf 下载 txt下载 epub 下载 mobi 下载 2024

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Brian Chapman 作者

Wiley-Interscience

译者

1980-09-11 出版日期

432 页数

USD 206.95 价格

Hardcover

丛书系列

9780471078289 图书编码

Glow Discharge Processes 在线电子书图书标签: 电子 physics

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发表于2024-07-02

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Glow Discharge Processes 在线电子书图书描述

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

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