Glow Discharge Processes

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出版者:Wiley-Interscience
作者:Brian Chapman
出品人:
页数:432
译者:
出版时间:1980-09-11
价格:USD 206.95
装帧:Hardcover
isbn号码:9780471078289
丛书系列:
图书标签:
  • 电子
  • physics
  • glow discharge
  • plasma physics
  • discharge processes
  • materials science
  • high voltage
  • physical chemistry
  • applications
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具体描述

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

《辉光放电的奥秘:原理、应用与前沿探索》 本书并非《Glow Discharge Processes》的介绍,而是一部独立的作品,深入探究了辉光放电这一迷人而重要的物理现象,旨在为读者呈现其基础原理、广泛应用以及当前的研究前沿。 第一章:辉光放电的基石——基本原理 本章将从最基础的层面剖析辉光放电的形成机制。我们将详细阐述在不同气压和电压条件下,气体介质如何被电离,进而产生自由电子、离子、激发态原子/分子以及光子等一系列粒子。我们将深入探讨电子-中性粒子碰撞、电子-离子复合、激发态粒子的辐射跃迁等关键过程,并结合玻尔兹曼方程等理论工具,分析电子能量分布函数(EEPF)对放电特性的影响。此外,本章还将介绍辉光放电的宏观特征,如不同色光的辉光区域(阴极暗区、负辉区、阳极暗区、正辉光柱)的形成机理及其物理意义,以及这些区域内关键物理参数(如电场强度、载流子密度、电子温度)的分布特征。我们将追溯辉光放电从气体击穿到稳定放电状态的演变过程,并初步介绍等离子体鞘层在维持放电稳定性中的作用。 第二章:辉光放电的分类与诊断 辉光放电并非单一形态,本章将系统性地介绍不同类型的辉光放电,包括但不限于: 直流辉光放电 (DC Glow Discharge): 探讨其在持续电压下的特性,以及其在早期研究和应用中的地位。 射频辉光放电 (RF Glow Discharge): 重点分析射频电场如何驱动电子,克服气体密度效应,实现低压、高密度等离子体的产生。我们将讨论不同频率(例如13.56MHz)的射频电源如何影响等离子体参数,以及匹配网络的关键作用。 微波辉光放电 (Microwave Glow Discharge): 介绍微波能量如何耦合到等离子体,以及其在高功率、高频段的应用潜力。 介质阻挡放电 (Dielectric Barrier Discharge, DBD): 重点阐述介质层如何在电极间形成,限制电流,产生大量瞬时微放电,从而在常压下实现辉光放电,并讨论其在大气环境下的应用前景。 表面放电 (Surface Discharge): 介绍等离子体在电极表面或介质表面形成的特点,及其在表面处理领域的独特优势。 同时,本章还将详细介绍用于诊断辉光放电等离子体参数的各种先进技术,包括: 发射光谱 (Emission Spectroscopy): 利用等离子体发射的光谱分析粒子的种类、浓度以及激发温度。 朗缪尔探针 (Langmuir Probe): 用于测量电子温度、等离子体密度和浮空电势。 激光诱导荧光 (Laser-Induced Fluorescence, LIF): 提供高空间分辨率的粒子密度和能量分布信息。 汤姆逊散射 (Thomson Scattering): 用于精确测量电子温度和密度。 微波干涉 (Microwave Interferometry): 测量等离子体密度。 通过对这些诊断技术的深入解读,读者将能够理解如何准确地表征辉光放电的物理状态。 第三章:辉光放电的工业应用 辉光放电以其独特的等离子体特性,在众多工业领域展现出强大的应用能力。本章将深入剖析以下关键应用: 表面改性与薄膜沉积: 详细介绍化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)等技术,说明辉光放电如何提供反应活性物种,实现金属、氧化物、氮化物等各类功能薄膜的沉积,以及表面硬化、耐磨、亲水/疏水等改性。 等离子体刻蚀 (Plasma Etching): 阐述辉光放电在半导体制造中的核心作用,如何利用活性粒子实现对硅、二氧化硅、金属等材料的高选择性、高精度刻蚀,以制造微电子器件。 照明技术: 追溯荧光灯、节能灯以及现代LED照明中,辉光放电如何作为激发荧光粉发光的基础,探讨其发光效率、显色性等关键指标。 臭氧发生器: 解释辉光放电如何在空气中产生臭氧,及其在消毒、净化、水处理等领域的应用。 等离子体退火与清洗: 介绍辉光放电在材料处理中的退火和表面清洗应用,如何去除有机污染物,提高材料的性能。 医疗与生物技术: 探讨“冷等离子体”在伤口愈合、杀菌消毒、癌症治疗等方面的潜力,以及其温和而高效的作用机制。 第四章:前沿探索与未来展望 本章将目光投向辉光放电研究的最新进展和未来发展趋势: 微纳尺度辉光放电: 探讨在微通道、微电极结构中实现的辉光放电,分析其在微流控、微反应器以及新兴电子器件中的应用潜力。 低压、高密度等离子体的产生与控制: 介绍如何通过新型电源技术、电极构型和气体注入策略,进一步提高等离子体密度和均匀性,以满足更苛刻的应用需求。 非平衡等离子体的精确控制: 深入研究如何通过调节等离子体参数,实现特定活性粒子的选择性生成,从而提高反应效率和产物纯度。 等离子体在新能源领域的应用: 探讨辉光放电在催化、燃料电池、能源储存等领域的新兴应用。 计算模拟与理论模型的发展: 介绍粒子模拟(PIC-MCC)等计算方法在理解辉光放电过程、优化设备设计中的重要作用。 本书旨在通过详实的内容和严谨的分析,为从事等离子体科学、材料科学、物理工程、化学工程等相关领域的科研人员、工程师和学生提供一份全面而深入的参考。通过理解辉光放电的基本原理和应用,我们能更好地驾驭这一强大的科学工具,解锁其在未来科技发展中的更多可能性。

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,像一把金钥匙,解锁了我对气体放电世界深处那神秘而迷人的辉光放电现象的探索欲望。我一直对能量是如何在不同物质形态之间传递和转化的过程,充满着无穷的好奇。 我期待这本书能够详细地阐述辉光放电的“构成”。它并非单一的元素,而是由一系列相互关联的粒子和过程所“构成”的。究竟是怎样的粒子(电子、离子、中性粒子、光子)在特定的条件下协同作用,才“构成”了我们所看到的辉光? 书中是否会深入解析辉光放电的“结构”?从阴极到阳极,辉光放电区域是如何划分的?例如,阴极暗区、阴极辉光、法拉第暗区、负辉光、阳极暗区和阳极辉光,这些不同的区域在粒子密度、能量分布和电场强度方面,是如何“构成”其独特的性质的? 我特别想了解,辉光放电的“构成”成分是如何影响其发光特性的。例如,不同的气体组分,会“构成”出怎样的辉光颜色?不同的放电参数,又会如何“构成”出不同亮度和能量密度的辉光? 这本书是否会探讨辉光放电在工业应用中的“构成”要素?例如,在等离子体表面处理中,辉光放电产生的活性粒子是如何“构成”其处理效果的?在薄膜沉积中,前驱体气体的选择、电场强度、功率等参数,又是如何“构成”最终薄膜的微观结构和性能的? 我希望书中能够提供关于辉光放电诊断技术的介绍。例如,通过发射光谱,我们如何“识别”构成辉光放电的各种粒子种类及其激发态?通过Langmuir探针,我们如何“测量”构成辉光等离子体的电子密度和电子温度? 我个人对辉光放电在微等离子体技术中的应用非常感兴趣。在微小尺度下,辉光放电的“构成”单元和相互作用是否会呈现出不同于宏观尺度的特征?它如何“构成”微型放电装置,并实现对微环境的精准调控? 《Glow Discharge Processes》是否能以一种系统、详尽的方式,为我描绘辉光放电这个复杂的“构成”?它是否能让我不仅看到那美丽的光芒,更能理解这光芒是由哪些基本元素和过程“构成”的,以及这些“构成”如何决定了它的特性和应用? 它是否能提供足够的理论框架和模型,让我能够深入理解这些“构成”要素之间的相互关系,并能够基于这些理解,去设计和优化相关的实验或工业过程?

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,一下子就抓住了我对于气体放电领域最核心的兴趣点:辉光放电的“过程”本身。我一直觉得,科学的魅力在于揭示事物发生的“为什么”和“如何”,而辉光放电,恰恰是这样一个充满复杂性与精妙性的过程。 想象一下,在一片寂静的真空室内,当施加一定的电压时,那些原本静止的、不带电的中性气体分子,会如何被激活,如何一步步走向“电离”的境地?这个过程的起点是什么?是气体中偶然存在的自由电子,还是宇宙射线带来的初始粒子? 我希望这本书能从最基础的物理原理出发,为我详细阐述电子在电场作用下的加速、碰撞、电离、激发等一系列微观事件。它是否会详细解释“汤森放电”和“辉光放电”之间的界限,以及是什么样的反馈机制(例如二次电子发射、光电离等)使得辉光放电能够自我维持? 书中的内容是否会深入到对辉光放电不同区域的细致描绘?例如,从阴极向阳极方向,辉光放电通常会呈现出多个离散的区域,如阴极暗区、阴极辉光、法拉第暗区、负辉光、阳极暗区和阳极辉光。每个区域的物理条件(如粒子密度、能量分布、电场梯度)有何不同?它们又是如何相互关联,共同构成了完整的辉光放电通道? 我特别期待书中能够对“负辉光”这一重要的辉光放电模式进行详尽的介绍。负辉光常常出现在低压气体中,其发光区域距离阴极较远,并且通常伴随着相对较高的等离子体密度和电子温度。它在很多等离子体应用中扮演着关键角色。 这本书是否会提供关于辉光放电的动力学方程和模型?例如, Boltzmann方程的近似解,或者一些简化的宏观模型,能够帮助我理解等离子体的宏观行为是如何从微观粒子相互作用中涌现出来的。 同时,我也想知道,辉光放电的“过程”是如何受到外部参数的影响的。例如,气体种类(惰性气体、分子气体)、气体压力、电流密度、电极材料和几何形状,这些因素是如何改变辉光放电的形态、亮度和功率效率的? 这本书是否会包含一些关于辉光放电诊断技术的介绍?比如,如何通过发射光谱来分析等离子体中存在的粒子种类和它们的激发态能量?或者如何使用Langmuir探针来测量等离子体的电子密度和电子温度?这些诊断手段是理解辉光放电过程不可或缺的工具。 我个人还对辉光放电在表面处理技术中的应用非常感兴趣。比如,如何利用辉光放电来改善材料的润湿性、硬度或耐腐蚀性?它在薄膜沉积中的角色又是什么? 我希望这本书能够提供清晰的理论解释,辅以丰富的实验数据和案例分析,使我能够真正理解辉光放电的“过程”是如何在微观层面发生的,以及如何在高层次的应用中被巧妙运用的。 它是否能以一种严谨又不失趣味的方式,带领读者走进辉光放电的微观世界,去探索那些肉眼看不见的粒子是如何协同合作,创造出如此独特而迷人的光芒?

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《Glow Discharge Processes》这本书的名字本身就如同一个低语的承诺,预示着一次对发光气体放电世界深邃探索的旅程。作为一名对等离子体物理学有着浓厚兴趣的业余爱好者,我常常在夜深人静时,沉浸在那些描绘电子、离子和中性粒子在电场作用下翩翩起舞的理论模型中。 辉光放电,这个听起来就充满神秘色彩的现象,在我看来,是连接物质最基本组成部分与宏观可见现象之间的关键桥梁。它不是那种瞬间爆发的、如闪电般的剧烈放电,也不是那种持续燃烧的、如电弧般的炙热光芒,而是以一种更为内敛、更为柔和的方式展现着能量的转化与物质的激发。 我非常好奇,这本书是否能够以一种系统而全面的方式,为我揭示辉光放电的“生成过程”。究竟是什么样的微观粒子碰撞和能量交换机制,使得气体在特定的条件下能够从一种近乎绝缘的介质,转变为一种导电性极强的等离子体,并发出那令人着迷的辉光? 我希望书中能够详细介绍电子的雪崩增长,离子与气体的弹性与非弹性碰撞,中性粒子的激发与电离,以及这些过程如何在大约几百到几千伏特的电压下,在几毫米到几十厘米的放电间隙中协同作用,形成一个动态平衡的等离子体鞘层和辉光区域。 这本书是否能够深入解析不同辉光放电模式(如阴极辉光、负辉光、阳极暗区、正辉光柱)的形成条件和物理特性?我特别想了解,为什么在不同的空间区域,辉光会呈现出不同的颜色和亮度,以及这些现象背后所代表的微观粒子分布和能量状态。 此外,我也渴望了解辉光放电是如何被精确控制和利用的。在工业界,它被用于表面改性、薄膜沉积、气体净化等领域,这些应用都依赖于对放电参数的精细调控。 我希望书中能够提供关于辉光放电在这些具体应用中的详细机理分析,例如,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)中,辉光放电是如何激活前驱体气体,形成活性物种,并在基底表面进行沉积的?在等离子体刻蚀中,辉光放电产生的离子和自由基又是如何协同作用,选择性地去除材料的? 书中的插图和图表是否足够清晰和具有信息量?能否通过直观的图形来展示粒子密度分布、能量谱分布以及电场强度分布等关键信息?这对于我这样一个在理论学习过程中,更倾向于视觉化理解的读者来说,至关重要。 我是否能在书中找到关于辉光放电稳定性和不稳定性机制的讨论?例如,什么是“致密化”现象,它对放电特性有何影响?辉光放电在不同气体组分、压力和电流密度下的行为又会有何差异? 最后,这本书是否会触及一些前沿的辉光放电研究方向,例如微型辉光放电、介质阻挡辉光放电,以及它们在生物医学、环境科学和新材料开发等领域的潜在应用?我期待《Glow Discharge Processes》能够成为一本集理论深度、应用广度与前沿视野于一体的权威著作。

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,就像一句邀请,邀请我深入探究那种在气体介质中悄然发生的、却又充满力量的光电现象。我始终着迷于那些看似平凡的物理过程,它们如何经过微妙的调整,便能展现出如此惊人的转化力。 辉光放电,对我而言,不仅仅是一种“发光”的现象,更是一个复杂而精妙的“过程”。这个过程的起点,是气体在电场作用下的一系列碰撞和相互作用。究竟是怎样的“过程”,让原本中性的气体分子,在几百到几千伏特的电压下,开始变得“活跃”起来? 我迫切希望这本书能够详细地剖析这个“过程”的每一个环节。例如,电子在电场中的加速,然后与中性气体分子发生碰撞,导致后者电离或激发。这个电离过程,又会产生新的电子和离子,这些新的粒子又会参与到后续的碰撞过程中,形成一个持续的、可自我维持的链式反应。 书中是否会深入探讨这个“过程”的动力学?比如,等离子体鞘层是如何形成的?鞘层中的电场分布和粒子输运机制是什么?这些鞘层对于辉光放电的整体特性又有着怎样的影响? 我特别想了解,辉光放电的“过程”是如何在不同的气体组分和压力条件下表现出差异的。例如,惰性气体(如氩气、氖气)和分子气体(如氮气、氧气)在辉光放电中扮演的角色有何不同?低压和高压条件下,放电的“过程”又会有怎样的变化? 这本书是否会涉及一些关于辉光放电的稳定性研究?辉光放电是否总是在稳定的状态下运行,还是说存在着某种“过程”的不稳定性,导致放电形态的变化甚至熄灭? 我希望书中能够提供一些关于辉光放电过程的数值模拟方法。通过计算机模拟,我们能否直观地“看到”电子和离子在辉光通道中的运动轨迹,以及它们能量的演变过程? 在应用层面,辉光放电的“过程”是如何被用来实现特定功能的?例如,在等离子体表面处理中,辉光放电产生的活性粒子是如何与材料表面发生化学反应,从而改变其表面性质的?在薄膜沉积中,又是怎样的“过程”促使了前驱体分子分解,并在基底上形成均匀的薄膜? 这本书是否会包含一些关于辉光放电诊断技术的介绍?例如,通过发射光谱,我们如何“观察”到辉光放电中存在的各种粒子种类及其激发态?通过Langmuir探针,我们如何“测量”到等离子体的电子密度和电子温度?这些诊断手段,本质上也是对辉光放电“过程”的一种探测。 我非常期待《Glow Discharge Processes》能够以严谨的科学态度,清晰的逻辑结构,为我揭示辉光放电这个迷人“过程”的每一个细节。它是否能让我从一个旁观者,变成一个对这个过程有深刻理解的“参与者”? 它是否能够提供足够详尽的物理模型和理论框架,让我能够不仅知其然,更能知其所以然,真正领略辉光放电这一现象背后蕴含的深刻物理原理?

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这本书的书名叫做《Glow Discharge Processes》,这无疑吸引了许多对等离子体物理和放电现象感兴趣的读者。我一直以来都对气体放电的机制及其在各种应用中的作用深感着迷,尤其是辉光放电,它作为一种相对温和但又极其重要的放电模式,其背后蕴含的复杂物理过程总是让我充满探索的欲望。 当我第一次看到《Glow Discharge Processes》这本书名时,我的脑海中立刻浮现出各种与辉光放电相关的场景:从实验室里那些闪烁着柔和光芒的辉光管,到工业生产线上用于表面处理、薄膜沉积的关键技术,再到科学研究中用于激发原子发射光谱的探针,辉光放电无处不在,扮演着至关重要的角色。这本书的出现,让我看到了深入了解这些过程的绝佳机会。 它是否能够提供对辉光放电的产生机理、稳定性和演变过程的详尽解释?我希望这本书能够深入剖析电子、离子、中性粒子和光子在辉光放电通道中的相互作用,阐述电场、磁场、气体组分、压力、温度以及电极几何形状等因素如何影响放电的特性。 是否能够涵盖各种类型的辉光放电,例如负辉光、正辉光、阴极辉光和阳极辉光?我特别关注那些能够提供清晰理论框架和实验证据的章节,以便我能够理解不同辉光放电模式之间的联系和区别。 这本书是否能深入探讨辉光放电在实际应用中的具体案例?例如,在半导体制造中的刻蚀和沉积技术,在医疗领域的低温等离子体治疗,在环境保护中的废气净化,以及在照明和显示技术中的应用。我期待这本书能够提供详细的工艺参数、机理分析以及性能评估,帮助读者理解辉光放电是如何转化为实际生产力的。 书中是否对辉光放电的诊断技术进行了介绍?例如,Langmuir探针、发射光谱、激光诱导荧光等方法,它们如何被用来测量等离子体的电子密度、电子温度、粒子密度和反应动力学?我希望能在这本书中找到对这些诊断工具的原理、操作和数据解读的深入阐述,以便我能够更好地理解和验证辉光放电的理论模型。 我想知道这本书是否会探讨辉光放电的数值模拟方法?随着计算能力的提升,数值模拟在理解复杂物理过程方面发挥着越来越重要的作用。它是否会介绍流体模型、动力学模型或混合模型,并提供相关的算法和软件工具的使用指导? 本书在理论深度和工程实用性之间能否找到一个恰当的平衡?我希望它既能提供坚实的物理基础,又能指导实际操作和问题解决。例如,在设计辉光放电装置时,如何优化电极结构、气体流量和供电参数以达到最佳效果? 我个人非常关注辉光放电在微等离子体领域的发展。微等离子体具有小尺寸、低功耗、易于集成等优点,在生物医学、环境监测和微机电系统等领域展现出巨大的应用潜力。我非常期待《Glow Discharge Processes》能够包含关于微辉光放电发生机理、特性和应用的新进展。 这本书的参考文献是否足够丰富和前沿?这对于希望进一步深入研究的读者至关重要。我希望它能够引用该领域最新的研究成果和经典的论文,为读者提供一个深入学习的起点。 最后,这本书是否能够以一种引人入胜且易于理解的方式呈现复杂的物理概念?我喜欢那种能够激发读者好奇心、引导读者思考的写作风格。如果它能提供一些有趣的实验演示或案例分析,那就更好了。

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,就像一束指向气体放电领域核心的探照灯,让我对其中最具代表性的辉光放电现象充满了求知欲。我一直对能量的转换与物质形态的变化过程着迷,而辉光放电正是这样一个将电能转化为光能和化学活性粒子的绝佳范例。 我期望这本书能够深入浅出地解释辉光放电的“生成”机理。究竟是什么样的微观物理过程,促使气体从一种绝缘状态,“生成”出具有导电性的等离子体,并发出柔和的光芒?这个“生成”过程,是否涉及到电子的加速、碰撞电离、气体分子激发,以及由此产生的一系列连锁反应? 书中是否会详细剖析辉光放电中不同区域的“生成”原因?例如,阴极附近的辉光是如何“生成”的?负辉光区域为何会出现在远离阴极的地方,其“生成”的粒子来源又是什么?这些区域的形成,是否与电场分布、粒子密度以及碰撞截然不同? 我特别关注辉光放电的“稳定性”问题。是什么样的“生成”机制,能够使得辉光放电在一定的条件下保持稳定,而非轻易熄灭?书中是否会探讨电流密度、气体压力、电极材料以及供电方式等参数,如何影响辉光放电的“生成”和维持? 这本书是否会探讨辉光放电在工业应用中的“生成”作用?例如,在半导体制造中,辉光放电如何“生成”活性粒子,用于精确地刻蚀材料或沉积薄膜?在表面处理领域,它又如何“生成”出具有特定功能的表面层? 我希望书中能够提供关于辉光放电诊断技术的介绍。例如,通过发射光谱,我们如何“捕捉”到辉光放电中“生成”的各种粒子及其能量状态?通过Langmuir探针,我们如何“测量”到等离子体中“生成”的电子密度和电子温度? 我个人对辉光放电在微尺度下的应用非常感兴趣。在微等离子体中,辉光放电的“生成”过程是否会呈现出与宏观尺度不同的特点?它如何“生成”微型放电装置,并实现对微观环境的精准控制? 《Glow Discharge Processes》是否能以一种严谨、系统的方式,为我全面地阐释辉光放电的“生成”过程?它是否能让我不仅看到那独特的光芒,更能理解这光芒是如何“生成”的,以及这些“生成”的物理和化学过程如何决定了它的性质和应用? 它是否能提供足够的理论模型和计算方法,让我能够深入理解这些“生成”过程的本质,并能够将其应用于分析和解决实际问题,例如优化等离子体源的设计,或者开发新的等离子体应用技术?

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,如同一道通往气体放电物理学核心领域的闪耀入口,辉光放电,作为其中最令人着迷的一种模式,总是让我充满探索的渴望。我一直对那些能够“影响”物质性质、重塑材料表面的能量转化过程深感兴趣。 我希望这本书能够详尽地阐述辉光放电如何“影响”周围环境。它不仅仅是发光,更重要的是,它能够改变气体介质的性质,使其变成一种高能量密度的等离子体。这种等离子体,能够产生大量的自由电子、离子、中性活性粒子和高能光子,这些都是能够“影响”物质性质的关键因素。 书中是否会深入分析辉光放电产生的这些活性粒子,是如何与材料表面发生相互作用的?例如,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)中,辉光放电产生的活性物种如何“影响”薄膜的成核和生长过程?在等离子体刻蚀中,活性粒子又如何“影响”材料的选择性去除? 我特别关注辉光放电在表面处理中的应用。它如何“影响”材料的表面能,使其更易于粘附?它如何“影响”材料的硬度、耐磨性,或者其光学和电学性能?这些“影响”背后,是怎样的化学反应和物理过程? 这本书是否会提供关于辉光放电诊断技术的介绍?例如,通过发射光谱,我们如何“感知”到辉光放电中存在的各种活性粒子及其能量状态?通过Langmuir探针,我们如何“量化”等离子体的密度和温度,进而理解它对周围环境的“影响”有多大? 我个人对辉光放电如何“影响”生物体和环境也充满好奇。例如,低温等离子体在医疗领域的应用,它如何“影响”细菌的生长,或者促进伤口愈合?在环境科学领域,辉光放电又如何“影响”废气中的污染物,使其分解? 我希望《Glow Discharge Processes》能够提供清晰的理论模型和实验数据,来支持其对辉光放电“影响”的阐述。它是否能让我理解,如何通过调控辉光放电的参数,来精确地“影响”目标物体的性质? 它是否能帮助我区分和理解不同类型的辉光放电(如柱状辉光、负辉光等),以及它们对不同材料和环境产生的“影响”有何差异? 这本书是否能够以一种严谨且富有启发性的方式,为我揭示辉光放电这种能量转化机制,以及它如何通过产生和调控活性粒子,来深刻地“影响”物质的微观结构和宏观性能? 它是否能让我不仅仅看到辉光放电的光芒,更能理解它背后隐藏的、足以改变物质世界的强大“影响”力?

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,仿佛是一扇开启通往微观物理世界的大门,而辉光放电,就是门后那个最引人入胜的景象。我一直对气体在电场作用下发生的奇妙转变感到好奇,特别是那种相对温和却又高效的发光机制——辉光放电。 我希望这本书能够从最基础的粒子层面开始,为我细致地描绘辉光放电是如何“产生”的。究竟是什么样的微观粒子碰撞和能量传递,使得气体介质能够被电离,并发出肉眼可见的光芒?这个“产生”的过程,是否涉及电子的加速、中性粒子的碰撞电离、离子的回旋运动,以及各种激发态粒子在退激过程中发出的光子? 书中是否会深入讲解不同类型的辉光放电,例如,在低压条件下,阴极附近产生的“阴极辉光”是如何形成的?它与远离阴极、靠近阳极的“正辉光”又有何本质区别?这些不同的发光区域,是否代表着不同的粒子分布、能量状态和反应速率? 我特别关注辉光放电的“稳定性”问题。是什么因素决定了辉光放电能够稳定地维持,而不是瞬间熄灭或转变为其他更剧烈的放电形式?书中是否会探讨电流密度、气体压力、电极几何形状以及供电电源的特性,如何共同影响辉光放电的稳定性? 我也希望了解,辉光放电的“过程”是如何被用来在各个领域发挥其独特作用的。在半导体制造中,辉光放电被用于等离子体刻蚀和薄膜沉积,它如何精确地控制材料的去除或生长?在医疗领域,低温等离子体是否也与辉光放电的某些特性有关? 本书是否会提供一些关于辉光放电的理论模型和数学描述?例如,如何用流体模型或粒子模型来描述等离子体的动力学行为?这些模型对于理解辉光放电的“产生”机制和演变规律,无疑是至关重要的。 我个人还对辉光放电在环境污染治理中的应用非常感兴趣。例如,如何利用辉光放电来分解有害气体或处理废水?这其中涉及怎样的“产生”机制,能够实现这些净化功能? 书中是否会包含一些关于辉光放电诊断技术的介绍?例如,如何通过发射光谱来分析等离子体中存在的粒子种类和它们的能量状态?如何使用Langmuir探针来测量等离子体的电子密度和电子温度?这些诊断方法,本身也是对辉光放电“产生”过程的一种探测。 我期待《Glow Discharge Processes》能够以一种清晰、系统的方式,为我揭示辉光放电的“产生”过程,从微观粒子行为到宏观放电现象,再到实际应用中的机制。它是否能让我不仅看到那美丽的光芒,更能理解这光芒是如何“产生”的,又是如何被巧妙运用的? 它是否能提供足够的理论深度,让我能够独立分析和理解相关的实验结果,并为未来的研究或实践打下坚实的基础?

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,像一个精心设置的陷阱,牢牢地吸引了我对气体放电现象中一种最为普遍且重要的形态——辉光放电——的关注。我一直对那些能够将能量高效地转化为光和热的物理过程充满好奇,而辉光放电正是这样一个典型的例子。 我希望这本书能够详细地阐述辉光放电是如何“运作”的。它不仅仅是简单地发光,而是在电场的作用下,气体介质内部发生着一系列复杂的微观粒子相互作用。从电子的初始电离,到离子与中性粒子的碰撞,再到激发态粒子的退激发光,整个过程是一个动态的平衡。 书中是否会深入解析辉光放电中存在的各种鞘层结构?例如,阴极鞘层、阳极鞘层以及辉光柱中的电场分布。这些鞘层在维持辉光放电的稳定性和控制粒子输运方面扮演着怎样的角色? 我特别想了解,辉光放电的“运作”模式是如何随着气体种类、压力和电流密度的变化而变化的。例如,在低压下,辉光放电常常呈现出清晰的条纹状结构,而在高压下,它又可能转变为更均匀的发光。这些变化背后,是怎样的粒子动力学在起作用? 这本书是否会探讨辉光放电在各种应用场景中的“运作”机制?例如,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)中,辉光放电是如何激活前驱体分子,产生活性自由基,并在基底表面形成高质量薄膜的?在等离子体处理工业中,辉光放电又是如何实现表面改性,提高材料性能的? 我希望书中能够提供一些关于辉光放电诊断技术的介绍。通过发射光谱,我们如何“看见”辉光放电中粒子的能量分布?通过Langmuir探针,我们如何“测量”等离子体的电子密度和电子温度?这些诊断手段,本质上也是对辉光放电“运作”状态的一种探测。 我个人对辉光放电在低压下的行为尤其感兴趣,因为这在许多真空技术和微电子加工中至关重要。它是否能为我提供关于低压辉光放电特性的详细描述,包括其放电阈值、电流电压特性曲线以及不同模式的转换条件? 此外,我希望这本书能够包含一些关于辉光放电的数值模拟方法。通过计算模拟,我们能否更深入地理解辉光放电中粒子间的相互作用和能量传递过程,以及如何优化放电参数以实现特定的“运作”目标? 《Glow Discharge Processes》是否能以一种既严谨又易于理解的方式,带领我全面地了解辉光放电是如何“运作”的?它是否能让我不仅仅停留在现象的层面,更能深入到其背后的物理原理? 它是否能够为我提供一个坚实的理论基础,让我能够理解那些复杂的方程和模型,并将其应用于实际问题的分析和解决之中?

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《Glow Discharge Processes》这本书的书名,立刻激发了我对气体放电物理学中最具代表性、也最富魅力的现象之一——辉光放电——的深度探究。我一直对那些在特定条件下,物质会呈现出截然不同面貌的“转变”过程着迷。 我迫切希望这本书能够详细阐述辉光放电的“转变”是如何发生的。从原本绝缘、近乎惰性的气体,到一个导电性极强的、充满活性粒子的等离子体状态,这个“转变”的过程,究竟经历了哪些关键的物理和化学步骤? 书中是否会深入剖析电子在电场中的加速、碰撞电离,以及由此产生的正负离子和自由电子的“转变”?这些粒子如何在电场和碰撞的作用下,形成复杂的空间分布和能量谱,最终实现气体到等离子体的“转变”? 我特别关注辉光放电的“稳定性”和“形态”问题。是什么样的“转变”机制,使得辉光放电能够在一定的参数范围内保持稳定?当参数发生变化时,辉光放电的形态又会如何“转变”,例如从均匀的辉光柱“转变”为条纹状,或者甚至出现弧光放电? 这本书是否会探讨辉光放电如何“转变”材料的表面性质?例如,通过辉光放电处理,材料的表面能、附着力、硬度或者耐腐蚀性等,都会发生怎样的“转变”?这些“转变”背后,是怎样的活性粒子与材料表面发生相互作用? 我希望书中能够提供关于辉光放电诊断技术的介绍。例如,通过发射光谱,我们如何“捕捉”到辉光放电中粒子能量状态的“转变”?通过Langmuir探针,我们如何“测量”等离子体密度和温度的“转变”? 我个人对辉光放电在微等离子体技术中的应用非常感兴趣。在微尺度下,辉光放电的“转变”行为是否会呈现出不同于宏观尺度的特征?它在生物医学、环境监测等领域,如何实现对微环境的“转变”和控制? 《Glow Discharge Processes》是否能以一种严谨、系统的方式,为我揭示辉光放电这一从宏观到微观、从普通到特殊的“转变”过程?它是否能让我不仅看到那独特的光芒,更能理解这光芒背后所蕴含的深刻的物理“转变”原理? 它是否能提供足够的理论模型和计算方法,让我能够深入理解和分析这些“转变”过程,并将其应用于解决实际问题,例如设计更有效的等离子体处理设备,或者开发新的等离子体应用技术?

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