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Glow Discharge Processes

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Brian Chapman 作者
Wiley-Interscience
译者
1980-09-11 出版日期
432 页数
USD 206.95 价格
Hardcover
丛书系列
9780471078289 图书编码

Glow Discharge Processes 在线电子书 图书标签: 电子  physics   


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发表于2024-12-23


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Glow Discharge Processes 在线电子书 图书描述

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

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