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Glow Discharge Processes

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Brian Chapman 作者
Wiley-Interscience
譯者
1980-09-11 出版日期
432 頁數
USD 206.95 價格
Hardcover
叢書系列
9780471078289 圖書編碼

Glow Discharge Processes 在線電子書 圖書標籤: 電子  physics   


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發表於2024-11-26

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Glow Discharge Processes 在線電子書 圖書描述

Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals. Subjects range from voltage, distributions encountered in plasma etching systems to plasma-electron interactions that contribute to sustaining the discharge.

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