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微传感器设计、制造与应用
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刘广玉 作者
7-81124
译者
2008-2 出版日期
218 页数
23.00元 价格
丛书系列
9787811241990 图书编码

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发表于2024-09-20

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微传感器设计、制造与应用 在线电子书 图书描述

《高等院校通用教材·微传感器设计、制造与应用》主要内容是，对基于压阻效应、电容效应、机械谐振效应、光电效应、电子隧道效应和原子力效应的多种微传感器和智能微传感器的物理机理 、材料、设计、制造、应用和发展进行了深入系统的讨论，包括对压力、加速度、角速度、纳米尺度和图像生成等的测量与性能分析。全书内容丰富，重理论也重应用，各章后配有思考题。

《高等院校通用教材·微传感器设计、制造与应用》适合用作高等学校相关专业微机械传感器课程的教材，也可供从事微机械传感器研究的工程技术人员参考。

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