气体放电物理是等离子体物理的一个重要组成部分，气体放电现象是电流通过气体以后由电离了的气体表现出来的。本书主要从物理方面讨论各种气体放电的基本过程，主要特性和有关的机理。重点是讨论具有应用价值的辉光放电，弧光放电，火花放电，电晕放电和高频微波放电的基本过程，基本规律以及等离子体的基本性质，使读者能深入放电领域的基础。
第一章：气体放电中的基本过程与分类
第二章：气体放电等离子体的基本性质
第三章：汤生放电
第四章：辉光放电
第五章：弧光放电
第六章：火花放电
第七章：电晕放电
第八章：高频和微波放电
第九章：介质阻挡放电
第十章：光学放电
具体描述
读后感
最近要接触磁控溅射薄膜，在网上买了些书来看。 要掌握薄膜溅射技术，真空技术和气体放电这两方面的知识是必备的。只可惜，新出的介绍薄膜制备的书大多讲的很宽泛，不深入，只是介绍真空的一些基本概念和几种PVD或CVD的方法，等等，对气体放电这一关键过程很少交待。即便有，...
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