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Kiyotaka Wasa 作者

Noyes Publications

译者

1992-02-01 出版日期

320 页数

USD 140.00 价格

Hardcover

丛书系列

9780815512806 图书编码

Handbook of Sputter Deposition Technology 在线电子书图书标签: sputter

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发表于2024-06-15

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Handbook of Sputter Deposition Technology 在线电子书图书描述

This book presents a concise, comprehensive overview of sputter deposition technology, a key technology for materials research in the next decade. Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.

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