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Handbook of Sputter Deposition Technology

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Kiyotaka Wasa 作者
Noyes Publications
譯者
1992-02-01 出版日期
320 頁數
USD 140.00 價格
Hardcover
叢書系列
9780815512806 圖書編碼

Handbook of Sputter Deposition Technology 在線電子書 圖書標籤: sputter   


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發表於2024-12-28

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Handbook of Sputter Deposition Technology 在線電子書 圖書描述

This book presents a concise, comprehensive overview of sputter deposition technology, a key technology for materials research in the next decade. Cathode sputtering is widely used in the microelectronics industry for silicon integrated circuit production and for metallurgical coatings. High temperature superconductors can be synthesized with sputtering under non-equilibrium conditions. Diamond films and ferroelectric materials are other applications.

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