《可重入制造系统的控制》主要从可重入制造系统的控制体系结构、控制方法和控制性能分析方法等角度对可重入制造系统控制问题进行介绍。重点介绍可重入制造系统的分层自适应控制体系结构、分层协同控制技术、重调度控制技术、预测控制系统控制的实验证平台和在企业车间的信息化系统进行介绍。实例验证表明,《可重入制造系统的控制》提出的方法和技术可能效减少晶圆在制品库存,缩短晶圆产品交货期,提高半导体生产线的整体设备利用率,提高半导体企业的市场响应速度。
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