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Surfaces, Interfaces, and Films for Microelectronics

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Eugene A. Irene 作者
译者
2008-2 出版日期
515 页数
1352.00 元 价格
丛书系列
9780470174470 图书编码

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发表于2024-11-10


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Surfaces, Interfaces, and Films for Microelectronics 在线电子书 图书描述

The practical, accessible independent–study guide and text on surface science fundamentals and microelectronics processes, this reference explains key concepts and important analytical techniques. It discusses films and interfaces, electronic passivation of semiconductor–dielectric film interfaces, the Si–SiO2 interface, and other MOSFET interfaces, and includes figures, charts, exercises, and examples of applications. This is the ideal guide to help professionals in the electronics industry get up to speed fast. It is also an excellent text for upper–level graduate and undergraduate students.

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