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微机电系统
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简体网页||繁体网页
田文超 作者
译者
2009-5 出版日期
250 页数
30.00元 价格
丛书系列
9787560622231 图书编码

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发表于2024-11-10

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微机电系统 在线电子书 图书描述

《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》系统地介绍了微机电系统的原理、设计和分析等知识，内容包括微机电系统的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、微机电系统模块仿真。《微机电系统(MEMS)原理、设计和分析》可供高等学校机械、电子、仪器、微电子器件专业高年级本科生和研究生使用，也可为相关工程技术人员及科技管理人员提供参考。

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