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微機電係統
☆☆☆☆☆
簡體網頁||繁體網頁
田文超 作者
譯者
2009-5 出版日期
250 頁數
30.00元 價格
叢書系列
9787560622231 圖書編碼

微機電係統 在線電子書 圖書標籤:  

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發表於2025-02-07

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微機電係統 在線電子書 著者簡介

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微機電係統 在線電子書 圖書描述

《微機電係統(MEMS)原理、設計和分析》係統地介紹瞭微機電係統的原理、設計和分析等知識，內容包括微機電係統的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、設計方法、加工工藝、錶麵特性、檢測技術、主要應用以及COMSOL軟件、微機電係統模塊仿真。《微機電係統(MEMS)原理、設計和分析》可供高等學校機械、電子、儀器、微電子器件專業高年級本科生和研究生使用，也可為相關工程技術人員及科技管理人員提供參考。

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