Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization pdf epub mobi txt 电子书下载 2026

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出版者:

作者:Li, Yuzhuo 编

出品人:

页数:734

译者:

出版时间:2007-10

价格:1228.00 元

装帧:

isbn号码:9780471719199

丛书系列:

图书标签:

Chemical Mechanical Planarization
CMP
Microelectronics
Semiconductor Manufacturing
Surface Finishing
Materials Science
Thin Films
IC Packaging
Device Fabrication
Nanotechnology

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具体描述

An authoritative, systematic, and comprehensive description of current CMP technology

Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the greatest degree of planarization of any known technique. The current standard for integrated circuit (IC) planarization, CMP is playing an increasingly important role in other related applications such as microelectromechanical systems (MEMS) and computer hard drive manufacturing. This reference focuses on the chemical aspects of the technology and includes contributions from the foremost experts on specific applications. After a detailed overview of the fundamentals and basic science of CMP, Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization:

*Provides in-depth coverage of a wide range of state-of-the-art technologies and applications

*Presents information on new designs, capabilities, and emerging technologies, including topics like CMP with nanomaterials and 3D chips

*Discusses different types of CMP tools, pads for IC CMP, modeling, and the applicability of tribometrology to various aspects of CMP

*Covers nanotopography, CMP performance and defect profiles, CMP waste treatment, and the chemistry and colloidal properties of the slurries used in CMP

*Provides a perspective on the opportunities and challenges of the next fifteen years

Complete with case studies, this is a valuable, hands-on resource for professionals, including process engineers, equipment engineers, formulation chemists, IC manufacturers, and others. With systematic organization and questions at the end of each chapter to facilitate learning, it is an ideal introduction to CMP and an excellent text for students in advanced graduate courses that cover CMP or related semiconductor manufacturing processes.

创新材料科学与前沿制造技术：深度解析与应用前景本书并非《Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization》。本书聚焦于当前微电子、半导体制造以及先进材料科学领域中最具颠覆性和影响力的若干分支技术，旨在为研究人员、工程师以及行业决策者提供一份全面、深入且具有前瞻性的技术综述与应用指南。本书将视角从传统的平面化技术中抽离，转而深入探讨诸如原子层沉积（ALD）的下一代集成技术、高通量计算材料设计方法、先进封装中的异构集成挑战，以及面向量子计算的超材料界面工程等尖端课题。第一部分：超越极限的薄膜沉积与界面控制本部分将深入探讨如何通过对材料在原子尺度上的精确控制，实现传统工艺无法企及的器件性能。第一章：原子层沉积（ALD）的拓扑适应性与高深宽比结构的完美填充 ALD技术已成为先进半导体制造的基石，但本书将着重分析其在面对极高纵横比结构（如3D NAND Flash的堆叠层、先进逻辑器件中的FinFET沟槽）时的挑战与创新解决方案。我们将详细剖析空间ALD（Spatial ALD）与脉冲ALD（Pulsed ALD）在提升产率和均匀性方面的最新进展。特别关注“阻碍效应”（Pulsing Inhibition）机制的深入理解，以及如何通过优化前驱体选择和反应温度窗口，实现对复杂三维结构的零空洞填充。章节内容包括：新型超低剂量前驱体的合成与应用、等离子体增强ALD（PEALD）在界面钝化中的关键作用，以及如何利用机器学习模型预测ALD薄膜的厚度和化学计量比在特定形貌上的分布规律。第二章：化学气相沉积（CVD）的新范式：低温与高选择性虽然ALD在精确性上占据优势，但在大面积均匀沉积方面，CVD仍不可替代。本书批判性地评估了当前CVD技术的局限性，并重点介绍了超低压CVD (LPCVD) 的优化，以及金属有机物化学气相沉积（MOCVD）在第三代半导体（如GaN, SiC）衬底生长中的关键瓶颈。核心章节探讨了“自限制性”生长模型的研究，旨在通过精妙的化学设计，实现无需刻蚀步骤的高选择性外延生长，特别是在异质结集成中，如何避免衬底损伤和缺陷迁移。此外，还将引入激光辅助CVD（LCVD）在实现局部图案化沉积方面的潜力分析。第二部分：材料计算与结构设计的前沿视角本部分聚焦于如何利用计算工具加速新材料的发现与验证，以及解决传统实验方法难以触及的内在物理问题。第三章：密度泛函理论（DFT）在缺陷工程中的应用深度解析 DFT已成为预测材料性能的标准工具，但本书将着重于超越基础能带计算的复杂应用。我们将详细阐述如何利用Hubbard U参数的精确校准来准确模拟过渡金属氧化物中的电子关联效应，这对于铁电体和忆阻器材料的设计至关重要。重点讨论缺陷形成能、扩散路径计算，以及如何构建大规模的缺陷团簇模型来模拟材料在真实操作条件下的长期稳定性。章节还将介绍加速DFT计算的机器学习势能面（Machine Learning Potentials）的构建流程，以实现对数百万原子长时间演化的精确模拟。第四章：高通量虚拟筛选与材料基因组计划本书系统介绍了如何整合DFT计算、分子动力学模拟（MD）与大数据分析，构建高效的材料信息学平台。内容涵盖：如何设计“可学习的特征描述符”（Learned Descriptors）来表征复杂晶体结构；贝叶斯优化（Bayesian Optimization）在筛选具有特定电学或热学属性的候选材料库中的应用策略；以及如何将筛选结果反馈至实验合成流程，形成闭环的材料加速发现周期（MAD Cycle）。对集成电路热管理材料（如新型界面热界面材料IHTM）的虚拟设计案例进行了详尽的剖析。第三部分：先进异构集成与终端应用挑战本部分将目光投向了系统层级的集成，探讨在将不同功能模块（如光学、射频、存储、逻辑）集成为单一芯片或封装时所面临的物理与电学挑战。第五章：2.5D/3D 集成中的热机械可靠性与应力管理随着芯片堆叠密度的增加，热管理成为系统性能的终极限制因素。本书详细分析了TSV（硅通孔）周围的应力集中问题及其对电迁移和疲劳寿命的影响。内容包括：热膨胀系数（CTE）失配导致的层间界面损伤机制；超薄晶圆的键合与转移技术的力学考量；以及新型无凸点（No-Bump）或混合键合（Hybrid Bonding）技术的界面粘接强度测试与失效分析。章节还将介绍瞬态热流测试方法，以准确评估高密度集成包的局部热点。第六章：面向量子计算的界面工程与低温电子学量子计算对材料的纯净度和界面质量提出了前所未有的要求。本书探讨了在极低温（mK级别）下运行的超导量子比特和半导体量子点器件的封装挑战。核心内容包括：极低缺陷密度的介质层的制备，以最小化对量子相干时间的损耗；超导材料与衬底之间的界面耦合的理论建模；以及如何利用三维微纳加工技术构建定制化的低温传输线和耦合器结构。此外，还将对比基于超导电路、拓扑绝缘体和新型二维材料的量子比特架构在工程化方面的优劣。第七章：新一代存储技术：非挥发性与忆阻交叉探索本书超越了传统的SRAM/DRAM范畴，深入分析了阻变存储器（RRAM）、相变存储器（PCM）及铁电FET（FeFET）的物理机制与制造难度。重点讨论了开关窗口的窗口缩小问题、长期可靠性，以及如何实现多比特存储。特别关注二维材料（如MoS2, HfS2）在构建超薄、低功耗忆阻器件中的潜力，及其与CMOS工艺的兼容性挑战。总结与展望本书最终将对上述领域的前沿研究进行综合评估，指出当前研究的瓶颈和未来十年最有可能实现突破的方向，强调跨学科合作（物理、化学、材料、电子工程）是推动下一代电子器件革新的核心驱动力。本书提供的是一套系统性的、面向未来挑战的技术地图，旨在启发读者在微电子应用的前沿领域进行更深入的探索和创新。