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Reactive Sputter Deposition 在線電子書 pdf 下載 txt下載 epub 下載 mobi 下載 2024

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簡體網頁||繁體網頁

Mahieu, S. 編作者

譯者

出版日期

570 頁數

$ 247.47 價格

叢書系列

9783540766629 圖書編碼

Reactive Sputter Deposition 在線電子書圖書標籤:

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發表於2024-11-29

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Reactive Sputter Deposition 在線電子書著者簡介

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Reactive Sputter Deposition 在線電子書圖書描述

The use of thin films is continuously expanding. In the family of Physical Vapour Deposition techniques, sputtering is one of the most important over the past 40 years. In this book, all aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth, are described in detail, allowing the reader to understand the complete process. Hence, this book gives necessary information for those who want to start with reactive magnetron sputtering, understand and investigate the technique, control their sputtering process and tune their existing process, obtaining the desired thin films.

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