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Plasma Nanoscience

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Ostrikov, Kostya 作者
译者
2008-10 出版日期
563 页数
1259.00 元 价格
丛书系列
9783527407408 图书编码

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发表于2025-01-10


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Plasma Nanoscience 在线电子书 图书描述

Filling the need for a single work specifically addressing how to use plasma for the fabrication of nanoscale structures, this book is the first to cover plasma deposition in sufficient depth.

The author has worked with numerous R&D institutions around the world, and here he begins with an introductory overview of plasma processing at micro- and nanoscales, as well as the current problems and challenges, before going on to address surface preparation, generation and diagnostics, transport and the manipulation of nano units.

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