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Plasma Nanoscience

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Ostrikov, Kostya 作者
譯者
2008-10 出版日期
563 頁數
1259.00 元 價格
叢書系列
9783527407408 圖書編碼

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發表於2024-11-10

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Plasma Nanoscience 在線電子書 圖書描述

Filling the need for a single work specifically addressing how to use plasma for the fabrication of nanoscale structures, this book is the first to cover plasma deposition in sufficient depth.

The author has worked with numerous R&D institutions around the world, and here he begins with an introductory overview of plasma processing at micro- and nanoscales, as well as the current problems and challenges, before going on to address surface preparation, generation and diagnostics, transport and the manipulation of nano units.

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