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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统
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简体网页||繁体网页
张 作者
译者
2010-3 出版日期
121 页数
35.00元 价格
丛书系列
9787030268624 图书编码

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发表于2024-11-29

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用于恶劣环境的碳化硅微机电系统 在线电子书 图书描述

《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》内容简介：碳化硅以其优异的温度特性、电迁移特性、机械特性等，越来越被微电子和微机电系统研究领域所关注，不断有新的研究群体介入这一材料及其应用的研究。《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》是目前译者见到的唯一一本系统论述碳化硅微机电系统的著作，作者是来自英国、美国从事碳化硅微机电系统研究的几位学者，他们系统综述了碳化硅生长、加工、接触、腐蚀和应用等环节的技术和现状，汇聚了作者大量的经验和智慧。

《用于恶劣环境的碳化硅微机电系统》可供从事微电子、微机械研究的科研人员参考阅读，也可以作为研究生专业课程教材或参考书目。

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