用於惡劣環境的碳化矽微機電係統 在線電子書 圖書標籤:
發表於2024-11-10
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《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》內容簡介:碳化矽以其優異的溫度特性、電遷移特性、機械特性等,越來越被微電子和微機電係統研究領域所關注,不斷有新的研究群體介入這一材料及其應用的研究。《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》是目前譯者見到的唯一一本係統論述碳化矽微機電係統的著作,作者是來自英國、美國從事碳化矽微機電係統研究的幾位學者,他們係統綜述瞭碳化矽生長、加工、接觸、腐蝕和應用等環節的技術和現狀,匯聚瞭作者大量的經驗和智慧。
《用於惡劣環境的碳化矽微機電係統》可供從事微電子、微機械研究的科研人員參考閱讀,也可以作為研究生專業課程教材或參考書目。
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