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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering

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Nadim Maluf 作者
Artech Print on Demand
譯者
2000-11-30 出版日期
265 頁數
USD 102.00 價格
Hardcover
叢書系列
9780890065815 圖書編碼

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An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering 在線電子書 圖書描述

A non-technical introduction to the field of microelectromechanical systems (MEMS). It describes in detail the materials used in producing MEMS - including silicon, polymers and glass and quartz substrates - as well as MEMS design for nozzles, sensors, valves and other applications. It examines the manufacture of commercial MEMS using technologies such as oxidation, lithography, chemical vapour deposition and silicon fusion bonding and applications in a wide range of industries including data storage, telecommunications, consumer, automotive, medical and defence. The book also addresses the future of MEMS - its potential for microelectrode arrays, actuators and optical switches and other technologies.

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