《半導體材料測試與分析》主要介紹半導體材料的各種測試分析技術，涉及測試技術的基本原理、儀器結構、樣品製備和應用實例等內容：包括四探針電阻率、無接觸電阻率、擴展電阻、微波光電導衰減、霍爾效應、紅外光譜、深能級瞬態譜、正電子湮沒、熒光光譜、紫外-可見吸收光譜、電子束誘生電流、I-V和C-V等測試分析技術。半導體材料是微電子、光電子和太陽能等工業的基石，而其電學性能、光學性能和機械性能將會影響半導體器件的性能和質量，因此，半導體材料性能和結構的測試和分析，是半導體材料研究和開發的重要方麵。
《半導體材料測試與分析》可供大專院校的半導體物理、材料與器件、材料科學與工程和太陽能光伏等專業的高年級學生、研究生和教師作教學用書或參考書，也可供從事相關研究和開發的科技工作者和企業工程師參考。
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