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微纳尺度制造工程
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简体网页||繁体网页
严利人 作者
电子工业
译者
2011-5 出版日期
640 页数
83.00元 价格
丛书系列
9787121134289 图书编码

微纳尺度制造工程 在线电子书 图书标签: 微电子  简体中文  中国  专业书  2011   

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发表于2024-07-06

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微纳尺度制造工程 在线电子书 著者简介

斯蒂芬A·坎贝尔：明尼苏达大学电子与计算机工程系的教授，该校技术研究院的杰出教授，同时兼任该校纳米制造中心和纳米结构应用中心的主任。无论是在学术界还是在工业界，他在微电子工艺制造领域都有着广泛的经验。他目前的研究领域包括半导体纳米颗粒在高性能电子器件与光电器件中的应用、先进材料、新型传感器与晶体管结构以及MEMS器件的各类应用等。

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微纳尺度制造工程 在线电子书 图书描述

本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发等。

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