微納尺度製造工程 pdf epub mobi txt 電子書 下載2025
斯蒂芬A·坎貝爾：明尼蘇達大學電子與計算機工程係的教授，該校技術研究院的傑齣教授，同時兼任該校納米製造中心和納米結構應用中心的主任。無論是在學術界還是在工業界，他在微電子工藝製造領域都有著廣泛的經驗。他目前的研究領域包括半導體納米顆粒在高性能電子器件與光電器件中的應用、先進材料、新型傳感器與晶體管結構以及MEMS器件的各類應用等。
出版者:電子工業
作者:嚴利人
出品人:
頁數:640
译者:
出版時間:2011-5
價格:83.00元
裝幀:
isbn號碼:9787121134289
叢書系列:
圖書標籤:
- 微電子
- 簡體中文
- 中國
- 專業書
- 2011
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本書係統地介紹瞭微電子製造科學原理與工程技術，覆蓋瞭集成電路製造所涉及的所有基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發等。
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