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微纳系统技术与应用
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简体网页||繁体网页
作者
译者
2011-8 出版日期
216 页数
50.00元 价格
丛书系列
9787030321039 图书编码

微纳系统技术与应用 在线电子书 图书标签: 微纳  半导体   

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发表于2024-07-07

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微纳系统技术与应用 在线电子书 图书描述

《微纳系统技术与应用》系统阐述了微纳结构与系统的知识，主要包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等。另外，《微纳系统技术与应用》还详细探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果，包括mems空间光调制器、mems开关、光纤传感器、气体传感器等，并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧，通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍，这都有助于读者在实际工作中的参考。

《微纳系统技术与应用》可供微机械、光学工程、自动控制、先进制造等相关专业的教学、科研和工程技术人员阅读参考，也可作为相应领域高年级本科生和研究生教材。

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