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微納係統技術與應用
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作者
譯者
2011-8 出版日期
216 頁數
50.00元 價格
叢書系列
9787030321039 圖書編碼

微納係統技術與應用 在線電子書 圖書標籤: 微納  半導體   

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發表於2024-12-24

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微納係統技術與應用 在線電子書 著者簡介

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微納係統技術與應用 在線電子書 圖書描述

《微納係統技術與應用》係統闡述瞭微納結構與係統的知識，主要包括微納係統的基本概念、所用材料、加工方法、在多學科交叉領域的具體應用等。另外，《微納係統技術與應用》還詳細探討瞭微納係統領域內一些熱點研究方嚮的最新成果，包括mems空間光調製器、mems開關、光縴傳感器、氣體傳感器等，並按照設計、加工、測試、封裝這一完整流程闡述瞭研發的方法和技巧，通過實例對各個研發環節的實踐經驗進行瞭簡明介紹，這都有助於讀者在實際工作中的參考。

《微納係統技術與應用》可供微機械、光學工程、自動控製、先進製造等相關專業的教學、科研和工程技術人員閱讀參考，也可作為相應領域高年級本科生和研究生教材。

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微納係統技術與應用 在線電子書 讀後感

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