目 錄
1現代測量技術概論
1.1測試技術進展
1.1.1概述
1.1.2智能儀器與虛擬儀器進展
1.1.3超精加工與計量技術進展
1.2迴轉體形狀誤差測量技術現狀
1.2.1概述
1.2.2基礎技術的研究
1.2.3形狀誤差評定理論
1.2.4誤差補償技術
1.2.5傳感器及其標定技術
1.2.6三點法測量技術
1.3迴轉體形狀誤差超精測量的意義
1.3.1超精密工程的要求
1.3.2測控與定位技術研究的必要性
1.3.3精密測量中測控定位技術研究的內容
2測控及定位理論
2.1測控與定位係統研究的對象
2.1.1載荷的作用
2.1.2大載荷作用下的精密定位原則
2.2迴轉體測量儀器設計
2.2.1設計理論
2.2.2儀器坐標係
2.2.3坐標變換
2.3微位移技術
2.3.1亞微米級微位移技術
2.3.2壓電、電緻伸縮器件
2.3.3柔性鉸鏈
2.4設計實例
2.4.1設計要求
2.4.2測控及定位係統設計
3測量基準模型與誤差
3.1測量基準的建立及基準誤差模型
3.1.1測量基準的建立
3.1.2基準軸係誤差
3.1.3基準導軌誤差
3.1.4基準之間的位置誤差模型
3.2測量係統的誤差模型
3.2.1乾擾信號對儀器性能的影響
3.2.2雙空氣靜壓係統的抗乾擾性能分析
3.2.3定位係統機械漂移的誤差模型
3.2.4滾動摩擦環節的影響
3.2.5儀器總誤差的修正模型
3.3調傾與調偏之間的耦閤及解耦方法
3.3.1模型解耦
3.3。2機械解耦
4誤差分離技術與傳感器標定技術
4.1基準間位置誤差的分離技術
4.1.1誤差分離原理
4.1.2倒置測量法誤差分離模型
4.1.3反嚮法誤差分離模型
4.1.4工件安裝傾斜的影響及導軌傾斜
方嚮判彆
4.1.5誤差分離法的方法誤差估計
4.2動靜態標定技術
4.2.1概述
4.2.2跳變式標準器
4.2.3橢圓柱式標準器
4.2.4波度標準器
5測控定位係統性能試驗及精度分析
5.1主軸誤差運動的測量
5.1.1測控係統原理
5.1.2軸係誤差測量概述
5.1.3徑嚮誤差的測量
5.1.4角迴轉誤差的測量
5.1.5軸嚮迴轉誤差的測量
5.2導軌直綫度及基準平行度誤差的測量
5.2.1導軌直綫度誤差的測量
5.2.2基準間平行度誤差的測量
5.3靜態標定與建模
5.3.1靜態標定方法
5.3.2以量塊為標準量的靜態標定法
5.3.3采用雙頻激光乾涉儀的靜態標定法
5.3.4動態標定試驗
5.4微調整當量試驗及傳感器性能試驗
5.4.1X－Y調整當量試驗
5.4.2α－β調整當量試驗
5.4.3傳感器性能試驗
5.4.4傳感器定位及調整係統
5.5重復性試驗及加載試驗
5.5.1重復性試驗
5.5.2加載試驗
5.6比對試驗
6平直度誤差測量中的有關理論問題
6.1直綫度和平麵度測量綜述
6.1.1直綫度原始數據的測量
6.1.2平麵度原始數據的獲得
6.2研究的內容與意義
6.3直綫度、平麵度誤差測量中的有關理論問題
6.3.1直綫度誤差原始數據測量方案的論證
6.4數學模型的建立
6.4.1條件方程和聯係數法方程的建立
6.4.2平差精度評定
7平直度原始數據的測定與分析
7.1直綫度誤差中的原始數據的獲得
7.1.1原始數據的測量方法
7.1.2原始數據的初步處理
7.2直綫度誤差原始數據處理數學模型的建立
7.2.1求各被測點的最佳估計值
7.2.2求精度估計
7.2.3實驗數據結果分析
7.3測量數據的插值平滑處理
7.3.1插值法
7.3.2離散點連成光滑麯綫的阿剋瑪方法
7.3.3測量數據的插值平滑處理
7.4平麵度誤差原始數據的測定及數據分析
7.4.1平麵度誤差原始數據的測量
7.4.2數據處理數學模型的建立
參考文獻
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