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MEMS和微系统
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简体网页||繁体网页
徐泰然 作者
机械工业出版社
王晓浩 译者
2004-1 出版日期
402 页数
38.00元 价格
简裝本
丛书系列
9787111132264 图书编码

MEMS和微系统 在线电子书 图书标签: MEMS  机械  专业  绝世神功  武功秘籍  材料学  文献  教科书   

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发表于2024-12-23

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MEMS和微系统 在线电子书 图书描述

微系统近年来迅速发展，在航天、汽车、生物技术、消费产品、国防、环境保护和安全、保障、制药，以及远程通信工业等方面都有广泛的应用。本书对MEMS技术的基础进行了深入的观察，共分11章，介绍了微系统工程的发展，市场，产品，微系统所涉及的各工程学科的基础知识、尺度效应、微系统工程的材料、微制造和微加工工艺及微系统的设计和封装等内容。

本书可作为本科生或研究生课程的教材，还可以作为专业人士及相关人员了解MEMS参考书。

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