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微电子工艺基础
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李薇薇 作者
第1版 (2007年1月1日)
译者
2007-1 出版日期
257 页数
29.80元 价格
平装
丛书系列
9787502595203 图书编码

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发表于2024-11-10

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微电子工艺基础 在线电子书 图书描述

为了使相关读者更深入了解掌握微电子工艺技术的原理，本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关的物理、化学知识，第4章至第10章是全书重点，介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。全书共分10章，主要内容涉及半导体硅材料及化合物的化学性质，高纯水的制备，清洗技术，氧化、扩散、刻蚀、制版、外延、金属化处理、电子封装等主要工艺的原理等。　　本书可作为高等院校相关专业的教材，也可作为教师和研究生的参考用书，同时也能供广大从事微电子相关领域的工程技术人员参考。

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