微电子工艺基础

微电子工艺基础 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

出版者:第1版 (2007年1月1日)
作者:李薇薇
出品人:
页数:257
译者:
出版时间:2007-1
价格:29.80元
装帧:平装
isbn号码:9787502595203
丛书系列:
图书标签:
  • 微电子
  • 集成电路
  • 工艺
  • 半导体
  • 材料
  • 制造
  • 器件
  • 物理
  • 电子工程
  • 纳米技术
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具体描述

为了使相关读者更深入了解掌握微电子工艺技术的原理,本书前部分主要介绍了集成电路制备工艺中有关的物理、化学知识,第4章至第10章是全书重点,介绍了工艺过程、工艺设备以及IC制备中的新技术、新方法。全书共分10章,主要内容涉及半导体硅材料及化合物的化学性质,高纯水的制备,清洗技术,氧化、扩散、刻蚀、制版、外延、金属化处理、电子封装等主要工艺的原理等。  本书可作为高等院校相关专业的教材,也可作为教师和研究生的参考用书,同时也能供广大从事微电子相关领域的工程技术人员参考。

《半导体物理导论》内容简介 聚焦核心原理,构建坚实理论基础 《半导体物理导论》旨在为学习者提供一个全面而深入的半导体物理学基础知识体系。本书不涉及微电子器件的制造工艺细节,而是专注于揭示半导体材料在微观层面上的基本物理行为和规律。我们相信,理解半导体器件的性能和极限,必须建立在对材料内部电子行为的深刻洞察之上。 第一部分:晶体结构与能带理论 本书的开篇聚焦于晶体结构及其对电子行为的决定性影响。我们将详细介绍晶体物理学的基本概念,包括晶格常数、晶面指数(密勒指数)以及布拉格衍射原理,为后续的电子结构分析打下基础。 核心内容在于能带理论的构建。我们从晶体周期性势场下的薛定谔方程出发,阐述电子在周期性势场中行为的特殊性,引入布洛赫定理。随后,系统推导和分析了晶体能带的形成机制,清晰区分了价带、导带以及禁带的概念。特别强调了有效质量(Effective Mass)的引入,解释了它如何描述电子和空穴在能带中运动时的动态响应,以及它与晶体微观势能函数之间的内在联系。书中对不同晶体结构(如硅、锗的晶体结构)对应的能带结构特性进行了深入对比分析,特别是直接带隙和间接带隙半导体的物理意义差异。 第二部分:载流子输运基础 在掌握了能带结构后,本书转入研究载流子(电子和空穴)在电场和磁场作用下的集体输运现象。 载流子产生与复合: 我们详尽讨论了热激发、光激发等机制导致的本征载流子浓度。随后,深入探讨了掺杂对半导体材料性能的本质影响,详细分析了N型和P型半导体中杂质能级、费米能级的具体位置,以及载流子浓度的计算方法。本章的重点在于建立起掺杂浓度与载流子热平衡分布之间的定量关系。 输运机制: 输运理论是本书的重点之一。我们首先介绍了弛豫时间近似下的玻尔兹曼输运方程的简化形式,并以此为基础推导出欧姆定律在半导体中的微观形式。详细分析了载流子的漂移运动,包括迁移率(Mobility)的概念,并解释了迁移率如何受晶格散射(声子散射)和杂质散射的共同影响,引入了Matthiessen定则。 扩散运动: 区别于漂移运动,本书清晰阐述了载流子扩散现象的物理根源——载流子浓度梯度。通过菲克扩散定律,推导了扩散系数与迁移率之间的关系(爱因斯坦关系),这是连接宏观输运与微观机制的关键桥梁。最后,综合讨论了漂移-扩散方程在描述复杂电场和浓度梯度下的载流子运动规律。 第三部分:平衡态与非平衡态物理 本部分致力于深入理解半导体中的统计物理学和非平衡态下的瞬态响应。 统计分布: 详细阐述了费米-狄拉克分布函数在半导体载流子统计中的应用。对于简并(Degenerate)和非简并(Non-degenerate)半导体的区分和处理方法进行了清晰的阐述。 少数载流子动力学: 这是理解所有PN结、双极型晶体管工作原理的理论基石。书中对少数载流子的寿命(Lifetime)概念进行了严格定义,区分了直接复合与间接复合(陷阱辅助复合,如Shockley-Read-Hall机制)对寿命的影响。着重分析了少数载流子在注入和移除后的动态过程,特别是寿命期限的概念,这是器件响应速度的关键限制因素。 磁电效应: 独立成章讨论了磁场在载流子输运中的作用,包括霍尔效应(Hall Effect)的定量分析,如何利用霍尔测量确定载流子类型和浓度,以及磁阻效应的物理背景。 第四部分:光与半导体的相互作用 本书探讨了光子与半导体材料的相互作用,这是光电子学的基础。 吸收与发射: 详细分析了光吸收过程,区分了带间跃迁(直接与间接)和带内跃迁。重点阐述了光吸收系数与光子能量的关系,特别是吸收边(Absorption Edge)的物理意义。反之,对受激辐射和自发辐射的物理过程进行了细致的对比,为激光二极管的工作原理奠定理论基础。 PN结的建立(仅理论层面): 在本章末尾,我们对PN结的形成进行了纯物理层面的分析,推导了内建电场的产生机制,以及在无偏置、正向偏置和反向偏置下的电势分布和空间电荷区宽度,这完全基于前述的载流子统计和电场理论,不涉及任何器件结构细节或工艺参数。 总结与展望 《半导体物理导论》的全部内容均围绕半导体材料的内在物理属性展开,强调从晶格振动到能带结构,再到载流子输运的逻辑递进。全书内容严格限定在本征材料的物理特性、统计力学描述以及光电相互作用的基础规律上,旨在培养读者建立扎实的理论模型和分析能力,为后续深入学习器件物理或材料科学提供不可或缺的理论工具。

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用户评价

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这本《微电子工艺基础》无疑是一部引人入胜的科幻小说,它将我带入了一个充满奇思妙想的未来世界。书中描绘的微观领域,其精密度和复杂程度,足以媲美任何最宏大的宇宙史诗。我被那些微小的、肉眼看不见的“建筑师”们所吸引,他们用肉眼无法企及的精准度,在指甲盖大小的芯片上构建出庞大的信息王国。 作者的笔触如同魔法师的双手,将那些冰冷的科学概念,化作了一个个生动鲜活的“角色”。比如,那些被称为“光刻机”的巨型设备,在书中被赋予了“绘制星图”的使命,它们将电路的蓝图,以不可思议的精度“印刻”在硅片之上。而那些“薄膜沉积”的过程,更是如同“创造物质”的神迹,一层层地堆叠,最终形成芯片赖以生存的“土壤”。 我尤其沉醉于书中对“芯片”本身的描绘。它们不再是简单的电子元件,而是承载着智慧、连接着世界的“心灵”。每一个电阻、每一个电容、每一个晶体管,都在书中有了自己的“性格”和“故事”。它们在高速运转中,传递着信息,执行着指令,构筑了我们今天所知的数字生活。 这本书不仅仅是在描述一种工艺,它更是在讲述一种“创造”的哲学。它让我思考,人类是如何在如此微小的尺度上,实现如此伟大的工程。它让我惊叹于科学的无限可能性,以及人类探索未知、挑战极限的勇气。阅读过程中,我仿佛置身于一个巨大的实验室,看着那些科学家和工程师们,是如何一点点地将想象变为现实。 《微电子工艺基础》给我带来的,不仅仅是知识的启迪,更是一种对科学探索的敬畏和对未来科技的无限憧憬。它让我看到,我们脚下的这片土地,已经被科技的力量悄然改变,而这种改变,才刚刚开始。

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初拿到《微电子工艺基础》这本书,我以为里面会充斥着枯燥的技术术语和令人望而生畏的公式。但翻开之后,我惊喜地发现,它更像是一部关于“微观世界的建造者”的传记。 书中那些被称为“工艺步骤”的部分,都被描绘成了精巧的“仪式”。比如,“光刻”被描述成一次“光之洗礼”,用光线作为“神笔”,在硅片这块“画布”上勾勒出电路的“经络”。而“刻蚀”则像是一次“净化”,去除掉不需要的“杂质”,让真正的“生命”得以显现。 我尤其喜欢作者对“薄膜沉积”的形象比喻,它如同“天地万物”的“凝结”,将稀薄的原子,一层层地“堆叠”成坚固的“山川”。这些“山川”虽然渺小,却承载着未来世界的无限可能。 书中关于“材料科学”的介绍,也让我大开眼界。那些我们日常生活中司空见惯的物质,在微电子工艺中,却被赋予了非同寻常的“使命”。比如,纯净的硅,如何通过“掺杂”变得“通灵”,能够承载信息的传递。 让我感到兴奋的是,书中还穿插了一些关于“芯片设计”和“集成电路”的知识。它让我明白,这些精密的“工艺”,最终是为了服务于那些充满智慧的“设计”。它就像是在告诉我们,如何用最精湛的技艺,去实现最伟大的“构想”。 《微电子工艺基础》为我打开了一个全新的视野,让我看到了科技背后隐藏的“创造力”和“艺术性”。它让我不再仅仅是使用者,而是能够理解,并开始欣赏,那些塑造我们现代生活的技术奇迹。

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这本书的封面设计,让我联想到那些古老的航海日志,上面记录着探险家们征服未知海域的惊心动魄。而《微电子工艺基础》的内容,也确实如同一次深入“微观海洋”的航行。我仿佛看到了无数微小的“船舶”,在洁净的“海域”中穿梭,它们不是为了寻宝,而是为了建造一座座连接未来的“城市”。 作者在描述“光刻”时,用了“光之舞者”的比喻,将一道道光束描绘成在硅片上翩翩起舞的精灵,它们轻盈而精准,将电路的“舞步”一一呈现。而“刻蚀”则像是“蚀刻师”在岩石上留下的痕迹,只不过这次的“岩石”是硅,而“痕迹”则是芯片的灵魂。 我特别欣赏书中对“薄膜沉积”的描述,它就像是在为芯片披上一件件“魔法外衣”,每一层都有其独特的功能,共同构筑了芯片的“免疫系统”。这些“外衣”的厚度,常常只有几个原子那么薄,却足以改变整个材料的命运。 书中最令我着迷的部分,是对“良率”的探讨。这就像是在讲述一场“海上争霸”,每一次的工艺流程,都可能影响到最终的“战果”。作者详细地剖析了各种“风暴”和“暗礁”,比如“颗粒污染”和“工艺偏差”,以及如何才能将“损失”降到最低,确保每一艘“战舰”都能顺利抵达目的地。 《微电子工艺基础》不仅仅是一本技术手册,它更像是一部关于“匠心”的史诗。它让我看到了人类如何在极其严苛的环境下,用极致的专注和精密的计算,创造出我们如今所依赖的科技。它也让我明白,每一个微小的电子元件,都凝聚着无数人的智慧和汗水。

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老实说,我买这本书的时候,本以为会读到一些关于如何在高山之巅搭建营地,或者是在极地荒原上寻找生存之道的故事。毕竟,“微电子工艺”听起来就像是某种在极端环境下进行的精密作业。但是,这本书的内容,却完全超出了我的想象。 它讲述的,不是人类如何与自然搏斗,而是人类如何“驯服”自然,将最微小的粒子,塑造成能够承载信息的神奇载体。我读到了关于“光”的奇妙旅程,它如何穿过精密的透镜,在硅片上“雕刻”出令人惊叹的电路图案,就像是在黑暗中点燃最微小的火种,却能点亮整个世界。 书中的“刻蚀”过程,更是让我联想到了古老的雕刻技艺,只不过这次的“雕刻刀”是化学药剂或者等离子体,它们的精准度,足以让最技艺精湛的工匠也自愧不如。而那些“薄膜沉积”的章节,则像是在描绘炼金术士如何将空气中的元素,转化为坚不可摧的“外衣”,保护着芯片最核心的“灵魂”。 最让我感到震撼的是,作者用一种近乎诗意的语言,描述了“晶体管”这个微小的“开关”。它们数量庞大,却又配合默契,共同构筑了我们今天所知的数字世界。它们是信息的“哨兵”,是运算的“心脏”,是连接人类与科技的“桥梁”。 《微电子工艺基础》给我带来的,是一种全新的视角,让我重新审视我们周围的世界。我不再仅仅看到宏大的建筑和复杂的机器,我更开始关注那些隐藏在它们之下的,微小而强大的力量。它让我明白,真正的“工艺”,不仅仅是技术的堆砌,更是智慧的结晶,是对自然规律的深刻理解和巧妙运用。

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这本书简直是为我量身定做的!作为一名对半导体行业充满好奇,但又缺乏专业知识的初学者,我一直希望能找到一本能够系统性地介绍微电子工艺的书籍。《微电子工艺基础》恰恰满足了我的需求。从最基础的晶体管结构讲起,到光刻、刻蚀、薄膜沉积等核心工艺步骤,这本书都用清晰易懂的语言和配图进行了讲解。我尤其喜欢作者在解释复杂概念时所使用的类比,比如将光刻比作照相,将薄膜沉积比作喷漆,这让我能够迅速抓住核心要点。 读这本书的过程,就像是进行一次微观世界的探险。我仿佛看到无数精密的机器在洁净室里协同工作,将硅片变成承载着无数信息和功能的微小芯片。书中对每种工艺的原理、流程、设备和可能遇到的问题都进行了细致的描述,让我对整个微电子制造链条有了完整的认识。例如,在讲到光刻工艺时,作者不仅介绍了光刻机的原理,还详细解释了掩模版的作用,以及如何通过曝光和显影来“绘制”出电路图形。这种深入浅出的讲解方式,让我在不知不觉中就掌握了大量的专业知识。 这本书让我对微电子技术有了更深刻的理解,也激发了我进一步学习的兴趣。在阅读过程中,我发现自己对一些原本模糊的概念有了豁然开朗的感受。例如,书中关于“杂质扩散”的解释,让我明白了为什么要在硅片中掺杂不同的元素,以及这些杂质是如何影响硅的导电性能的。此外,作者还穿插了一些历史故事和行业发展趋势的介绍,这让这本书不仅仅是一本技术手册,更是一部微电子技术发展史的缩影,读起来引人入胜。 这本书的实用性非常强,对于想要从事微电子相关工作的人来说,绝对是一本不可多得的入门读物。书中涉及的知识点非常全面,涵盖了从材料选择到最终封装的各个环节。我特别欣赏书中关于“良率”和“失效分析”的章节,这些内容直接关系到芯片的生产成本和可靠性,对于理解现实世界的制造挑战至关重要。例如,书中在讨论晶圆制造中的缺陷时,详细列举了可能存在的各种污染源,以及相应的控制措施,这让我对“洁净室”的重要性有了切身体会。 《微电子工艺基础》的价值远不止于技术知识的传授,它更像是一扇窗户,让我得以窥见现代科技的基石。通过这本书,我不仅学习了微电子制造的原理和技术,更重要的是,我体会到了这项复杂工艺背后所蕴含的严谨、创新和智慧。书中的内容循序渐进,逻辑清晰,即使是对技术细节感到畏惧的读者,也能在书中找到乐趣和收获。特别是关于CMOS工艺的介绍,让我对当前主流的芯片制造技术有了更清晰的认识。

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