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微電子工藝基礎

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李薇薇 作者
第1版 (2007年1月1日)
譯者
2007-1 出版日期
257 頁數
29.80元 價格
平裝
叢書系列
9787502595203 圖書編碼

微電子工藝基礎 在線電子書 圖書標籤:  


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發表於2024-09-20

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微電子工藝基礎 在線電子書 著者簡介


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微電子工藝基礎 在線電子書 圖書描述

為瞭使相關讀者更深入瞭解掌握微電子工藝技術的原理,本書前部分主要介紹瞭集成電路製備工藝中有關的物理、化學知識,第4章至第10章是全書重點,介紹瞭工藝過程、工藝設備以及IC製備中的新技術、新方法。全書共分10章,主要內容涉及半導體矽材料及化閤物的化學性質,高純水的製備,清洗技術,氧化、擴散、刻蝕、製版、外延、金屬化處理、電子封裝等主要工藝的原理等。  本書可作為高等院校相關專業的教材,也可作為教師和研究生的參考用書,同時也能供廣大從事微電子相關領域的工程技術人員參考。

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