Ellipsometry is an experimental technique for determining the thickness and optical properties of thin films. It is ideally suited for films ranging in thickness from sub-nanometer to several microns. Spectroscopic measurements have greatly expanded the capabilities of this technique and introduced its use into all areas where thin films are found: semiconductor devices, flat panel and mobile displays, optical coating stacks, biological and medical coatings, protective layers, and more. While several scholarly books exist on the topic, this book provides a good introduction to the basic theory of the technique and its common applications. The target audience is not the ellipsometry scholar, but process engineers and students of materials science who are experts in their own fields and wish to use ellipsometry to measure thin film properties without becoming an expert in ellipsometry itself.
Harland G. Tompkins received his BS in physics from the University of Missouri and his PhD in physics from the University of Wisconsin-Milwaukee. He is a consultant for the J. A. Woollam Company in Lincoln, NE, as well as for other companies. He has written numerous journal articles in the reviewed technical literature, is the author of four books, and has edited two books.
James N. Hilfiker graduated from the Electrical Engineering Department of the University of Nebraska, where he studied under Professor John Woollam. He joined the J.A. Woollam Company upon graduation and has worked in their applications lab for 20 years. His research at the J.A. Woollam Company has focused on new applications of ellipsometry, including characterization of anisotropic materials, liquid crystal films, and, more recently, thin film photovoltaics. He has authored over 40 technical articles involving ellipsometry.
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拿到《Spectroscopic Ellipsometry》这本书,我感觉仿佛打开了一扇通往材料表征新世界的大门。我对这项技术了解不多,但知道它在现代科学研究和工业生产中扮演着举足轻重的角色。我希望这本书能用一种非常循序渐进的方式,为我这样背景相对薄弱的读者打下坚实的基础。首先,应该会从光的偏振性质开始讲起,解释为什么椭圆偏振技术如此独特和强大。然后,必然会涉及到光谱学和椭圆偏振计的工作原理,以及如何进行不同波长范围的测量。我特别期待的是,书中能够提供详实的案例分析,展示如何运用这些技术来识别和量化各种材料的 optical constants(光学常数),比如金属、半导体、绝缘体甚至是生物分子。如果它还能讨论一些高级主题,例如在动态测量、表面敏感测量或非常规样品测量中的应用,那将是对我学习的极大促进。
评分对于《Spectroscopic Ellipsometry》这本书,我的期待是它能提供一种全新的视角来理解材料的精细结构和性质。我经常在阅读相关文献时遇到这个词组,但对其具体内容总是有些模糊。我期望这本书能够系统地阐述这项技术的理论基础,包括麦克斯韦方程组与偏振态的关联,以及如何利用傅里叶变换等数学工具来解析复杂的测量数据。我希望它能详细介绍不同类型的椭圆偏振光谱仪,它们的工作原理、优缺点以及适用范围。更重要的是,我期待书中能够深入讲解如何构建和优化物理模型,以准确地提取出材料的折射率、厚度、粗糙度等关键参数。如果书中还能涵盖一些关于数据可视化和后处理技术的讨论,例如如何呈现和解释拟合结果,如何评估模型的可靠性,那就更能帮助我深入掌握这项技术。
评分在众多科学著作中,《Spectroscopic Ellipsometry》这本书以其独特的书名吸引了我。我一直认为,能够精确探测和表征物质的纳米尺度特性是现代科学进步的关键之一。光谱椭圆偏振技术,听起来就蕴含着巨大的能量,能够揭示肉眼无法触及的奥秘。我猜测这本书会是一份详尽的技术指南,深入浅出地解析这项技术的物理原理、仪器设计、测量方法以及数据处理流程。我期待它能够带领我一步步理解,如何通过测量不同波长光与样品相互作用时偏振态的变化,来反推出样品表面的光学特性,比如薄膜的厚度、折射率、消光系数,甚至更复杂的性质如电导率、介电常数等。我希望书中能包含大量的实验范例和图示,以便我能更直观地理解抽象的理论概念,并能将其应用到自己的研究实践中。
评分这本书我早就听说过,一直想找时间好好研读一番。封面设计简洁大气,书名“Spectroscopic Ellipsometry”本身就散发着一种深邃而专业的魅力。我特别欣赏那种能够将复杂科学原理以清晰易懂的方式呈现出来的书籍,尤其是像光谱椭圆偏振技术这种跨越光学、材料科学和物理学前沿的领域。我预设它会是一本理论与实践并重的著作,从基础的光学原理讲起,深入浅出地剖析椭圆偏振的测量机制,再到如何利用这些测量数据反演出材料的厚度、折射率、消光系数等关键物理参数。我想象中,书中会有大量的图表和公式,但绝不是堆砌式的枯燥罗列,而是精心设计,能够直观地展示概念,帮助读者建立起对测量过程和数据分析的立体认知。我特别期待它能包含一些实际应用案例,比如在半导体、薄膜沉积、生物传感等领域的具体应用,这样能够让我更好地理解这项技术在现实世界中的价值和潜力。总而言之,我对这本书充满了期待,希望它能成为我学术研究和技术探索的得力助手。
评分我最近入手了这本《Spectroscopic Ellipsometry》,翻开目录就被深深吸引了。它似乎不像是一本简单的教科书,更像是一本详尽的百科全书,涵盖了从基础理论到前沿应用的方方面面。我个人对光学测量技术一直有着浓厚的兴趣,尤其是那些能够“看见”微观世界的工具。光谱椭圆偏振技术,听起来就充满着科技感和探索性。我猜这本书会深入探讨不同波段光与物质的相互作用,以及如何通过分析反射或透射光的偏振态变化来揭示材料的纳米尺度特性。我希望它能详细介绍各种测量模式和数据处理算法,比如如何进行模型拟合,如何处理复杂的多层膜结构,以及如何应对实际测量中可能出现的误差和不确定性。此外,如果书中能包含一些关于仪器设计和校准的章节,那就更完美了,毕竟硬件是实现精确测量的基石。我已经迫不及待想深入其中,去探索这个令人着迷的光学测量领域。
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