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Not Available (NA) 作者

Springer Verlag

译者

2006-12 出版日期

664 页数

$ 163.85 价格

HRD

丛书系列

9780735403666 图书编码

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发表于2024-11-29

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Ion Implantation Technology 在线电子书图书描述

This is the premier world conference for the presentation of the latest advances in ion implantation, from the fundamentals of ion-solid interactions to manufacturing implant equipment. All papers were peer-reviewed. Ion implantation is used to manufacture semiconductor devices. Materials properties are changed by bombarding wafers with atoms, which are accelerated in an ion implanter.

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