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微電子機械加工係統

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作者
譯者
2009-3 出版日期
194 頁數
26.00元 價格
叢書系列
9787502447946 圖書編碼

微電子機械加工係統 在線電子書 圖書標籤:  


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發表於2025-02-05

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微電子機械加工係統 在線電子書 著者簡介


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微電子機械加工係統 在線電子書 圖書描述

《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》還詳細介紹瞭電學,熱學和力學有限元方法的要領,相關軟件的使用及矽片的加工處理方法。閱讀《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》,可以為MEMS元件的設計和製造打下較好的基礎,從而可以靈活應用所學知識。MEMS技術是21世紀發展的重大技術,涉及國防、航天、醫療等領域。《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》以各種微型閥、微型泵、微型馬達、壓電元器件的製造為目的,闡述其功能,所依據的物理原理及定律。

《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》可供國防、航天、醫療等專業的技術人員閱讀,也可供大專院校有關專業師生參考。

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