《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》還詳細介紹瞭電學，熱學和力學有限元方法的要領，相關軟件的使用及矽片的加工處理方法。閱讀《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》，可以為MEMS元件的設計和製造打下較好的基礎，從而可以靈活應用所學知識。MEMS技術是21世紀發展的重大技術，涉及國防、航天、醫療等領域。《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》以各種微型閥、微型泵、微型馬達、壓電元器件的製造為目的，闡述其功能，所依據的物理原理及定律。
《微電子機械加工係統(MEMS)技術基礎》可供國防、航天、醫療等專業的技術人員閱讀，也可供大專院校有關專業師生參考。
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