MEMS可靠性 在線電子書 圖書標籤:
發表於2024-11-08
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《MEMS可靠性》是國際上MEMS可靠性領域第一本專著,共分為兩部分。第一部分論述MEMS材料的可靠性內容及主要錶徵方法,包括MEMS材料的可靠性,微納壓痕儀,鼓脹測試,彎麯測試,單軸張應力測試,片上測試;第二部分論述MEMS器件的可靠性,包括壓力傳感器可靠性,慣性傳感器可靠性,RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。內容新穎,數據充實,適閤於微機電係統、微電子、光電子、傳感器、通訊技術領域的高年級大學生、研究生和工程技術人員參考。
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