《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》共分5章和5个附录。主要内容包括：总则、术语、基本规定、单机调试及试运转和工程验收等。《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》中以黑体字标志的条文为强制性条文，必须严格执行。《微电子生产设备安装工程施工及验收规范》由住房和城乡建设部负责管理和对强制性条文的解释，由工业和信息化部负责日常管理，由中国电子系统工程第二建设有限公司负责具体技术内容解释。
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