《微電子生産設備安裝工程施工及驗收規範》共分5章和5個附錄。主要內容包括：總則、術語、基本規定、單機調試及試運轉和工程驗收等。《微電子生産設備安裝工程施工及驗收規範》中以黑體字標誌的條文為強製性條文，必須嚴格執行。《微電子生産設備安裝工程施工及驗收規範》由住房和城鄉建設部負責管理和對強製性條文的解釋，由工業和信息化部負責日常管理，由中國電子係統工程第二建設有限公司負責具體技術內容解釋。
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