具体描述
《微束分析国家标准汇编》等同采用ISO 14595：2003《微束分析电子探针分析标准样品技术条件导则》（英文版）。为了便于使用，本标准做了下列编辑性修改：——“本国际标准”一词改为“本标准”；——用小数点“.”代替作为小数点的逗号“，”；——删除国际标准的前言。
本标准代替GB/T 4930—1993《电子探针分析标准样品通用技术条件》，因为国际上的发展原标准在技术上已不适用。
本标准对GB/T 4930—1993进行了全面修改：
——标题：将GB/T 4930—1993原标题“电子探针分析标准样品通用技术条件”改为“微束分析 电子探针分析标准样品技术条件导则”；
——所有技术条文的项目、内容、结构顺序都作了变动，运用的技术方法更先进，更合理；
——标样材料不均匀性检测及其数据统计处理改用美国国家标准技术研究院（NIST）和英国国家
物理实验室（NPL）共同研制的检测和统计方法；
——将标样分级的概念引入本标准，使制作和应用标样的领域扩大，更合理，更全面。
本标准的附录B为规范性附录，附录A、附录C为资料性附录。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。
微束分析国家标准汇编 《微束分析国家标准汇编》是一部汇集了我国在微束分析领域最新、最权威的国家标准的专业性图书。本书旨在系统梳理和整合当前我国微束分析技术相关的国家标准，为从事微束分析研究、开发、应用及质量控制的科研人员、工程师、技术人员、检验员以及相关管理人员提供一本全面、实用、权威的参考资料。 本书内容覆盖广泛，重点突出以下几个方面： 一、 微束分析的通用基础标准： 本书收录了微束分析领域最为基础和通用的国家标准。这部分内容将为读者构建起一个扎实的理论和实践基础，包括但不限于： 微束分析基本术语与定义： 统一规范微束分析相关的专业术语，确保不同领域、不同单位的从业人员能够进行准确、有效的沟通。例如，会明确“微束”、“分析”、“分辨率”、“探测器”、“信号”、“样品制备”等核心概念的内涵与外延。 微束分析仪器的通用技术要求： 涵盖了各类微束分析仪器的基本性能指标、设计原则、制造工艺、安装调试、运行维护等方面的国家标准。这包括对扫描电子显微镜（SEM）、透射电子显微镜（TEM）、X射线显微镜（XRM）、离子探针质谱仪（SIMS）、电子探针微区成分分析仪（EPMA）等主流仪器的通用要求，如分辨率、放大倍数、探测器灵敏度、真空度、稳定性等。 微束分析样品的制备与处理规范： 详细规定了不同类型样品（如金属、陶瓷、高分子、生物样品等）在进行微束分析前所需的各种制备方法和技术要求，包括样品切割、抛光、镀膜、固定、清洗等步骤，以确保分析结果的准确性和可靠性。例如，会详细说明导电样品和非导电样品的镀膜厚度和材料选择，以及易碎样品或软质样品的固定方法。 微束分析过程中的安全操作规程： 强调了微束分析过程中涉及的射线防护、高压安全、化学试剂使用、机械操作等方面的国家安全标准，保障操作人员的人身安全和实验环境的安全。 微束分析数据的采集、处理与报告规范： 统一了微束分析数据的采集模式、参数设定、数据存储、图像处理、谱图解析以及最终报告的撰写格式和内容要求，便于数据的交流、共享和对比。 二、 特定微束分析技术的专用标准： 除了通用标准，本书还深入收录了我国在不同微束分析技术方面的专业性国家标准。这部分内容将聚焦于具体分析方法的原理、流程、参数优化、结果评定等关键环节，例如： 扫描电子显微镜（SEM）及其联用技术标准： 形貌观察标准： 规定了SEM图像的质量评价标准，如清晰度、对比度、景深等，以及不同放大倍数下的观察要点。 能谱分析（EDS/EDX）标准： 详细阐述了EDS/EDX的元素定性、定量分析方法，包括谱峰识别、背景扣除、标准样选择、校准方法、以及不同基体效应的校正方法，并对分析精度和准确度提出具体要求。 波谱分析（WDS）标准： 涵盖了WDS的元素识别、定量分析、空间分辨率、探测极限等方面的技术规范。 背散射电子衍射（EBSD）标准： 规定了EBSD的花样采集、标定、晶体取向分析、织构分析等步骤和评价标准。 透射电子显微镜（TEM）及其联用技术标准： 高分辨成像标准： 包含明场、暗场成像的优化条件、图像解析方法，以及晶格缺陷、界面结构等的观察标准。 电子衍射（ED）标准： 规定了晶体结构分析、晶面指数标定、倒易点阵分析等方面的技术要求。 能量过滤透射电子显微镜（EFTEM）标准： 涵盖了电子能量损失谱（EELS）的采集、谱图分析、元素映射、化学态分析等技术规范。 扫描透射电子显微镜（STEM）及其联用技术标准： 涉及HAADF、ABF等成像模式的优化、原子级分辨率成像、以及STEM-EDS/EELS联用分析的标准。 X射线光电子能谱（XPS/ESCA）标准： 表面敏感性分析标准： 详细规定了XPS的激发源选择、谱峰拟合、化学态分析、元素定量、深度剖析等技术流程和结果评定方法。 样品表面污染与处理标准： 强调了样品表面污染对XPS结果的影响，以及样品前处理和真空环境控制的重要性。 俄歇电子能谱（AES）标准： 表面成分分析标准： 规定了AES的元素识别、谱峰分析、空间分辨率、化学态分析等技术要求，以及对表面污染和二次电子信号的利用。 二次离子质谱（SIMS）标准： 同位素分析标准： 涵盖了SIMS的同位素丰度测量、同位素比值分析、以及在材料研究和地质年代学中的应用规范。 痕量元素与深度剖析标准： 详细规定了SIMS在检测痕量元素、进行深度剖析分析时的样品制备、离子源选择、探测器灵敏度、以及定量分析方法。 其他微束分析技术标准： 如聚焦离子束（FIB）在样品制备和微纳加工中的应用标准，X射线衍射（XRD）在微观结构分析中的应用标准等。 三、 微束分析结果的质量控制与评估标准： 本书还将收录一系列关于微束分析结果质量控制和评估的国家标准，旨在提高分析结果的可信度和可比性。这包括： 标准物质的应用与管理： 规定了用于微束分析的各类标准物质的选择、使用、校准和溯源性要求，以确保分析结果的准确性和可靠性。 分析方法的验证与确认： 提供了用于验证和确认微束分析方法性能（如准确度、精密度、检测限、选择性等）的国家指南。 实验室能力验证与认可： 介绍了微束分析实验室进行能力验证、获得认可的通用标准和流程，以保证实验室整体的分析能力。 数据报告的完整性与规范性： 进一步细化了微束分析数据报告应包含的所有必要信息，包括分析方法、仪器参数、样品信息、结果呈现、不确定度评估等，确保报告的科学性和严谨性。 本书的读者对象： 《微束分析国家标准汇编》是以下人员的必备参考书： 材料科学与工程领域的研究人员： 深入理解材料的微观结构、成分分布、晶体结构、表面性质等。 地质、矿物、环境科学领域的专家： 分析岩石、矿物、土壤、水体中的微量元素和同位素。 生物学、医学、药学领域的科研人员： 研究细胞、组织、病变部位的微观结构和元素分布。 半导体、电子元器件制造与检测行业的工程师： 进行微电子器件的失效分析、质量控制和工艺优化。 计量、检验、认证机构的技术人员： 制定和执行相关的国家标准和检测规范。 高等院校相关专业师生： 学习和掌握微束分析的核心理论与实践技能。 通过汇集这些权威的国家标准，本书将为我国在微束分析领域的科学研究、技术创新、产业发展以及国际交流提供坚实的技术支撑和规范指导。它将帮助广大从业者准确理解和应用最新的国家标准，提升微束分析的整体水平，从而推动我国在相关科技领域的进步。
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