Electrical and Thermal Characterization of MESFETs, HEMTs and HBTs

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出版者:
作者:Anholt, Robert
出品人:
页数:324
译者:
出版时间:1994-11
价格:$ 201.14
装帧:
isbn号码:9780890067499
丛书系列:
图书标签:
  • MESFET
  • HEMT
  • HBT
  • RF devices
  • microwave devices
  • semiconductor devices
  • characterization
  • electrical properties
  • thermal properties
  • modeling
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具体描述

This work provides a comprehensive discussion of the bias dependence of equivalent circuit parameters for the three devices and an extensive discussion of temperature dependence. It: covers recess-etched MESFETs and self-aligned MESFETs with and without lightly-doped-drains and JFETs; analyzes GaAs-based pHEMTS and InP lattice-matched HEMT equivalent circuits; and describes a large-signal, temperature-dependent model extractor for A1GaAs-GaAs HBTs. The book is intended for circuit designers, process and device developers and test engineers.

晶体管技术前沿:从基础原理到先进器件的深入剖析 本书聚焦于半导体领域中三类关键有源器件——结型场效应晶体管(MESFET)、高电子迁移率晶体管(HEMT)和异质结双极型晶体管(HBT)的深层物理机制、精确表征方法及其在现代电子系统中的应用潜力。本书旨在为研究生、高级工程师以及致力于射频、微波和高速电子学研究的专业人士提供一本全面、深入且具有实践指导意义的参考资料。 第一部分:基础理论与器件物理的坚实基石 本书首先构建了理解这些复杂器件所需的基础理论框架。我们从半导体PN结和肖特基结的基本概念出发,详细阐述了电荷载流子的输运机制,包括漂移、扩散和碰撞电离效应。 1.1 肖特基结与栅极控制 重点深入探讨了肖特基势垒的形成、能带弯曲现象以及在不同偏置条件下的能级结构。这部分内容为理解MESFET和HEMT中栅极对沟道电流的精确控制机制奠定了物理基础。我们详细分析了费米能级与肖特基势垒高度之间的关系,以及如何通过表面钝化和界面工程来优化栅源-栅漏之间的电学特性。 1.2 载流子输运与速度饱和 对于高速器件而言,载流子的饱和速度至关重要。本书系统回顾了Si和GaAs等材料体系中电子的能带结构、有效质量以及晶格散射对迁移率的影响。特别关注了高电场下的载流子输运动力学,包括空间电荷限制效应(SCE)和陷阱辅助隧穿机制。对于HEMT中二维电子气(2DEG)的形成与密度调制,进行了详尽的理论推导和实验验证分析。 1.3 异质结的优势与能带匹配 在HBT和HEMT的分析中,异质结的应用是核心。本书详细阐述了基于能带阶梯效应(Bandgap Engineering)的设计理念,通过精确计算不同材料界面(如AlGaAs/GaAs, InGaN/GaN)的能带偏移、载流子注入效率和内建电场,解释了为何异质结能够显著提升器件的增益、击穿电压和工作频率。 第二部分:关键器件的特性解析与建模 本部分是全书的技术核心,专注于对MESFET、HEMT和HBT进行详细的电气和热学表征。 2.1 MESFET:经典结构的性能极限 对结型场效应晶体管(MESFET)的经典工作模式(截止区、线性区、饱和区)进行了详细的I-V特性曲线分析。本书特别强调了“厚沟道”与“薄沟道”设计对跨导(Transconductance)和内建电容的影响。我们探讨了如何通过精确测量栅极漏电流(Gate Leakage Current)和沟道电阻(Channel Resistance)来评估器件的工艺质量和潜在的可靠性问题。 2.2 HEMT:高频性能的驱动力 高电子迁移率晶体管(HEMT)是本书的重点之一。我们深入剖析了异质结界面质量对2DEG密度和电子平均自由程的决定性作用。表征部分涵盖了: 小信号分析: 采用S参数测量技术,推导并分析了$f_T$(电流增益带宽积)和$f_{max}$(最大振荡频率)。讨论了寄生元件(如源极/漏极串联电阻和栅极电容)对高频性能的限制。 瞬态响应: 利用脉冲测量技术研究了陷阱效应(如“光效应”和“记忆效应”)对开关速度和线性度的影响。 功率放大器应用: 探讨了HEMT在大功率密度下的线性化技术(如包络跟踪)。 2.3 HBT:高电压、高电流密度的选择 异质结双极型晶体管(HBT)以其高电流密度和相对简单的线性化设计著称。本书详细分析了影响HBT性能的关键参数: 基极电阻与集电极串联电阻: 探讨了如何通过优化发射区和集电区掺杂梯度来最小化这些欧姆接触电阻。 禁带宽带工程: 重点分析了如何利用宽禁带材料(如SiGe, InP)设计发射区,以实现更高的基极击穿电压和改善的电流增益。 热导机制: 鉴于HBT工作时功率密度极高,本书专门用一节讨论了热阻(Thermal Resistance)的测量方法(如光电测温法)以及如何通过多孔散热结构来管理器件的热点效应。 第三部分:电气与热学耦合表征方法 现代半导体器件的性能,尤其是在高功率和高频工作状态下,越来越受到热效应的制约。本书构建了电学与热学相互耦合的表征体系。 3.1 直流(DC)与射频(RF)参数的温度依赖性 系统性地展示了跨导、饱和电流、阈值电压以及S参数等关键参数随工作温度变化的规律。通过建立温度系数模型,预测器件在实际工作环境中的漂移行为。 3.2 热参数的精确测量技术 本书介绍了当前最先进的热成像技术(Thermography)和电学温度感应技术(Electrical Thermometry)。特别侧重于: 片上热图绘制: 利用高分辨率红外相机在非接触模式下确定器件内部的热点分布。 热阻系数的标定: 讲解了如何通过监测特定温度敏感参数(TSP)的变化率,准确标定器件的热阻$R_{th}$。 3.3 瞬态热响应分析 为了评估器件在高频调制或脉冲工作下的可靠性,瞬态热行为至关重要。本书阐述了基于脉冲电流注入的有限元分析(FEA)方法,用于模拟温度随时间变化的动态过程,从而为优化封装设计和散热管理提供指导。 第四部分:面向未来应用的集成与可靠性 最后一部分将视角转向工程实际应用和长期可靠性。 4.1 器件集成与工艺挑战 讨论了将MESFET、HEMT和HBT集成到单片微波集成电路(MMIC)中时所面临的工艺兼容性问题,例如不同外延层厚度和接触电阻的匹配。重点关注了在GaN/SiC基底上实现高功率密度HEMT的挑战。 4.2 长期可靠性与失效机制 对器件的长期运行可靠性进行了深入探讨。内容包括: 偏置诱导的降解(Bias-Induced Degradation): 如陷阱填充和原子迁移对阈值电压的长期漂移。 热老化效应: 探讨高温操作下欧姆接触的退化和界面处的非晶化现象。 蒙特卡洛模拟在工艺变异中的应用,用于预测大规模生产中器件性能的分布范围。 总结: 本书不仅提供了对MESFET、HEMT和HBT这三大支柱性晶体管的详尽物理描述,更着重于将电学表征与热学管理紧密结合起来,提供了一套系统的、前沿的分析工具和方法论。它是一本理论深度与工程实用性兼备的综合性专著,旨在推动射频、毫米波以及高功率半导体器件技术的发展。

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这本书的阅读体验,坦白说,对于初学者而言,可能需要相当的专注度和一定的预备知识储备。它绝非那种可以“轻松浏览”的读物,更像是一份需要你带着笔记本和计算器去“啃食”的专业文献集。我发现,作者在处理那些描述器件非理想行为的部分时,表现出了令人印象深刻的深度。比如,当讨论到高频噪声的起源和如何通过结构优化来抑制这些噪声时,那种对材料缺陷和界面态的微观分析,细致到了令人咋舌的地步。这不像是一般大学教材里蜻蜓点水般的介绍,而是直接进入了研究生甚至博士级别的探讨范畴。我特别喜欢它在引入新的分析工具或模型时的那种“情境化”处理,它不是生硬地抛出一个方程,而是先阐述了在特定工作条件下,现有模型遇到了什么局限性,然后引出新的、更精确的数学描述。这种以问题驱动的学习路径,极大地提升了阅读的参与感和知识的留存率。我能清晰地感受到,作者试图将理论的严谨性与工程实践的复杂性完美地融合在一起。

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如果用一个词来形容这本书的写作风格,那会是“精确到位的经济性”。作者在表达复杂概念时,总是能找到最简洁、最不含糊的词汇。没有冗余的修饰,没有华丽的辞藻,每一个句子都仿佛经过了千锤百炼,只为承载最大的信息密度。这使得我在回顾和查阅特定公式或原理时,能以极快的速度定位到所需内容,而不需要费力地筛选掉大量的背景铺垫。比如,在描述载流子传输机制随温度变化的非线性关系时,它所使用的数学工具和对物理图像的描绘,达到了教科书级别的清晰度,但又比标准教材更加深入和实用。我个人认为,这本书的价值不仅仅在于它提供了“是什么”的答案,更在于它提供了一个强大的“如何思考”的框架。它培养了一种对物理现象进行定量化、模型化处理的能力,这种能力对于在研发领域长期发展至关重要,因为它让你能够预测尚未发生的行为,而非仅仅解释已发生的结果。

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最让我感到惊喜的是,尽管这本书的标题听起来聚焦于表征(Characterization),但它在器件的物理极限和设计哲学上的探讨,远超出了简单的测量和数据分析。它似乎在暗示,真正的“表征”不是简单的S参数测量,而是一种对材料、工艺和结构之间微妙平衡的深刻洞察。书中对不同器件结构——MESFETs, HEMTs, HBTs——之间的内在联系和设计取舍进行了细致的对比分析,这种跨类型的比较性视角在同类书籍中是相当少见的。它强迫读者跳出单一器件的局限,从更宏观的视角去理解半导体射频和微波器件领域的整体发展脉络。我特别留意了其中关于可靠性预测的部分,作者没有陷入乐观的预测,而是相当务实地指出了当前限制这些高性能器件长期稳定运行的关键瓶颈。这种直面挑战的态度,而非一味歌颂技术进步,让整本书的论述显得格外真诚和有价值,它教会我们如何更审慎地看待“进步”的代价。

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阅读这本书的过程,更像是一次深入的、高强度的智力训练。我注意到,作者在引入一些前沿的研究成果时,非常注重引用的权威性和时效性,这表明作者对该领域的最新进展保持着高度的敏感。书中的图表质量也值得称赞,它们不是那种粗糙的扫描件,而是清晰、逻辑分明的示意图,很多图表本身就构成了对理论的最佳解释,甚至比文字描述更加直观有力。特别是那些关于工艺参数对电学性能影响的敏感度分析图,我甚至将它们打印出来,贴在我的工作区域,时不时地去对照我手头上的项目数据。总的来说,这本书为我打开了一扇通往更深层次理解的大门,它不是那种让你读完后感觉“啊,原来如此”的轻松读物,而是让你读完后感觉“我需要重新审视我过去理解的很多东西”的重量级作品。它要求读者付出努力,但回报是实实在在的、能立刻应用于复杂工程问题的洞察力。

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这本书的封面设计着实抓人眼球,那种深沉的蓝色调配上清晰的白色字体,立刻给人一种专业且严谨的科研氛围。我是在寻找关于半导体器件基础理论和实际应用之间连接点的过程中偶然发现它的。刚翻开目录,我就被它那种直击核心的叙事方式所吸引——它似乎没有浪费一丁点笔墨在那些过于宏大或空泛的介绍上,而是直接将读者带入了微观世界的复杂性之中。我尤其欣赏作者在构建知识体系时的逻辑性,那种层层递进、步步为营的感觉,让人觉得作者对这个领域有着近乎本能的理解和把控。它不像很多教科书那样只是罗列公式,而是试图去解释“为什么”这些物理现象会以这样的方式发生。读起来,我感觉自己就像是站在一个经验丰富的高级工程师身边,他正耐心地用最精确的语言为你拆解那些晦涩难懂的晶体管工作原理。这种对细节的精准把握,对于任何一个想要深入了解器件特性的研究人员来说,都是无价之宝。整体而言,它散发出一种沉稳、可靠的气息,让人信服它所提供的信息的准确性和前沿性。

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