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发表于2024-11-23
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微纳尺度制造工程 在线电子书 用户评价
佘总教的课，他的风格我特别喜欢，自身严谨而且学富五车，可谓是中山大学中最为优秀的教授之一了！当然书也是贯穿了很多物理学的东西，详细而且脉络清晰！
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微纳尺度制造工程 在线电子书 图书描述
《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》是The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 的第三版。《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》新增加的内容包括原子层淀积、电镀铜、浸润式光刻、纳米压印与软光刻、薄膜器件、有机发光二极管以及应变技术在CMOS工艺中的应用等，对于其他已经过时的或不再具有先进性的题材则做了适当的简化或删除处理。
《微纳尺度制造工程(第3版)(英文版)》可作为高等学校微电子专业本科生和研究生相应课程的教科书或参考书，也可供与集成电路制造工艺技术有关的专业技术人员学习参考。
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