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硅单晶抛光片的加工技术
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张厥宗 作者
化学工业出版社
译者
2005-8 出版日期
304 页数
35.00元 价格
精装
丛书系列
9787502572242 图书编码

硅单晶抛光片的加工技术 在线电子书 图书标签: 工艺  材料   

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发表于2024-11-26

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本书在内容上采取由浅入深的方式，在介绍半导体硅及集成电路有关知识的同时，简单介绍半导体工业及国内、国外半导体材料硅单晶、抛光片技术的发展和动态，重点阐述了硅单晶抛光片的加工制备技术，大直径硅片的运、载，硅单晶、抛光片的测试，洁净室技术及三废处理等内容。并且，书中附有大量的图、表等资料以供读者参考。

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