矽單晶拋光片的加工技術 在線電子書 圖書標籤: 工藝 材料
發表於2024-12-23
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本書在內容上采取由淺入深的方式,在介紹半導體矽及集成電路有關知識的同時,簡單介紹半導體工業及國內、國外半導體材料矽單晶、拋光片技術的發展和動態,重點闡述瞭矽單晶拋光片的加工製備技術,大直徑矽片的運、載,矽單晶、拋光片的測試,潔淨室技術及三廢處理等內容。並且,書中附有大量的圖、錶等資料以供讀者參考。
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