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矽單晶拋光片的加工技術

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張厥宗 作者
化學工業齣版社
譯者
2005-8 出版日期
304 頁數
35.00元 價格
精裝
叢書系列
9787502572242 圖書編碼

矽單晶拋光片的加工技術 在線電子書 圖書標籤: 工藝  材料   


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發表於2024-12-23

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矽單晶拋光片的加工技術 在線電子書 圖書描述

本書在內容上采取由淺入深的方式,在介紹半導體矽及集成電路有關知識的同時,簡單介紹半導體工業及國內、國外半導體材料矽單晶、拋光片技術的發展和動態,重點闡述瞭矽單晶拋光片的加工製備技術,大直徑矽片的運、載,矽單晶、拋光片的測試,潔淨室技術及三廢處理等內容。並且,書中附有大量的圖、錶等資料以供讀者參考。

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