Photomask Fabrication Technology 在線電子書 pdf 下載 txt下載 epub 下載 mobi 下載 2025

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Eynon 作者

McGraw-Hill Professional

譯者

2005-8 出版日期

500 頁數

$ 149.16 價格

叢書系列

9780071445634 圖書編碼

Photomask Fabrication Technology 在線電子書圖書標籤:

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發表於2025-02-20

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Photomask Fabrication Technology 在線電子書著者簡介

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Photomask Fabrication Technology 在線電子書圖書描述

Photomasks are defect-free optical templates - the printing masters for the fabrication of integrated circuits (ICs). When IC feature sizes fall below the exposure tool's source wavelength, photomask fabrication becomes difficult: very strict mask critical dimension (CD) and feature placement specifications, intensive capital equipment investment, unique raw materials and applications, and special expertise requirements for photomask fabrication technologists are necessary to fabricate modern microelectronics. Thus the rapid recent growth of the field and the need for this book. This text details the science and technology of industrial photomask production, including fundamental principles, industrial production flows, technological evolution and development, and state-of-the-art technologies. Focusing on industrial applications rather than pure science, the goal of the book is to provide a comprehensive reference for any engineer developing microelectronic manufacturing processes.

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