本书共分15章：内容主要包括：RF MEMS器件的静态、动态和电磁模型；MEMS开关的制备、封闭、可靠性及功率处理能力；MEMS开关的电路设计；MEMS移相器、变容器、可调谐 振荡器和电感器；可重构的MEMS网络、滤波器、天线和子系统；MEMS电路、称相器和振荡器的相噪声分析；同时介绍了RF MEMS开关的应用领域、国际RF MEMS 研究进展及未来的发展方向。
本书取材广泛、内容深刻，是本领域的权威著作。适合微电子技术、微波技术、微机电系统技术领域的高年级本科生、研究生及工程技术人员阅读。
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