本書共分15章：內容主要包括：RF MEMS器件的靜態、動態和電磁模型；MEMS開關的製備、封閉、可靠性及功率處理能力；MEMS開關的電路設計；MEMS移相器、變容器、可調諧 振蕩器和電感器；可重構的MEMS網絡、濾波器、天綫和子係統；MEMS電路、稱相器和振蕩器的相噪聲分析；同時介紹瞭RF MEMS開關的應用領域、國際RF MEMS 研究進展及未來的發展方嚮。
本書取材廣泛、內容深刻，是本領域的權威著作。適閤微電子技術、微波技術、微機電係統技術領域的高年級本科生、研究生及工程技術人員閱讀。
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