微納米測量技術 在線電子書 圖書標籤: 微納
發表於2024-11-24
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堆積資料,沒什麼見識。垃圾書,各種設備的測量原理在不同章節反復齣現好幾次,最後一節聲學測量和原理跟微納米測量毛綫關係都沒有。攢完瞭書也好好整理下內容吧。
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本書講述瞭微納米測量技術的基本理論和方法、微納米測量係統的工作原理及構成以及對不同物理量的微納米測量應用。
全書共4章,內容包括:微納米測量技術的意義、特點和研究的內容;微型傳感器的工作原理及其典型應用;微納米測量技術中的光學方法,光學測量係統的結構及應用;微納米尺度的幾何量、錶麵粗糙度、錶麵微觀形貌、MEMS材料機械特性、微應力和微應變、微位移、速度和加速度、振動、聲和超聲等典型物理量的測量技術應用。
本書可作為高等院校微機電係統工程、測控、儀器、自動化、機電一體化等專業的本科生和研究生教材,也可作為工程技術人員的參考書。
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