本書介紹瞭微光機電係統（Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS）的國內外發展狀況，微器件的結構設計與仿真，常用的微製造技術，如錶麵工藝、體矽工藝和LIGA工藝，封裝技術等。本書的重點是介紹各種MOEMS器件，包括微力學器件、RF微器微光學器件、微流體器件以及微溫度傳感器和微磁場傳感器等。介紹微器件時，本書從各器件的工作原理、工藝步驟、性能指標等入手，意在使讀者更好地瞭解目前已經研製成功的各種微器件及微係統，並能在實際的工程中考慮使用。
本書可作為從事MOEMS技術應用和開發的工程設計人員，科技管理人員以及相關專業研究生的參考書。
具體描述
讀後感
評分
評分
評分
評分
評分
用戶評價
评分
评分
评分
评分
评分
相關圖書
本站所有內容均為互聯網搜索引擎提供的公開搜索信息，本站不存儲任何數據與內容，任何內容與數據均與本站無關，如有需要請聯繫相關搜索引擎包括但不限於百度，google,bing,sogou 等
© 2025 qciss.net All Rights Reserved. 小哈圖書下載中心 版权所有