微光機電係統 在線電子書 圖書標籤:
發表於2024-09-07
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本書介紹瞭微光機電係統(Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS)的國內外發展狀況,微器件的結構設計與仿真,常用的微製造技術,如錶麵工藝、體矽工藝和LIGA工藝,封裝技術等。本書的重點是介紹各種MOEMS器件,包括微力學器件、RF微器微光學器件、微流體器件以及微溫度傳感器和微磁場傳感器等。介紹微器件時,本書從各器件的工作原理、工藝步驟、性能指標等入手,意在使讀者更好地瞭解目前已經研製成功的各種微器件及微係統,並能在實際的工程中考慮使用。
本書可作為從事MOEMS技術應用和開發的工程設計人員,科技管理人員以及相關專業研究生的參考書。
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