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High Density Plasma Sources 在線電子書 pdf 下載 txt下載 epub 下載 mobi 下載 2024

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Popov, Oleg A. 編作者

William Andrew Pub

譯者

1997-1 出版日期

468 頁數

$ 214.70 價格

HRD

叢書系列

9780815513773 圖書編碼

High Density Plasma Sources 在線電子書圖書標籤:

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發表於2024-11-28

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High Density Plasma Sources 在線電子書用戶評價

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High Density Plasma Sources 在線電子書著者簡介

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High Density Plasma Sources 在線電子書圖書描述

This book describes the design, physics, and performance of high density plasma sources which have been extensively explored in low pressure plasma processing, such as plasma etching and planarization, plasma enhanced chemical vapor deposition of thin films, sputtered deposition of metals and dielectrics, epitaxial growth of silicon and GaAs, and many other applications. This is a comprehensive survey and a detailed description of most advanced high density plasma sources used in plasma processing. The book is a balanced presentation in that it gives both a theoretical treatment and practical applications. It should be of considerable interest to scientists and engineers working on plasma source design, and process development.

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