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Reliability of Mems 在線電子書 pdf 下載 txt下載 epub 下載 mobi 下載 2024

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Hierold, Christofer 編作者

John Wiley & Sons Inc

譯者

出版日期

324 頁數

$ 255.00 價格

HRD

叢書系列

9783527314942 圖書編碼

Reliability of Mems 在線電子書圖書標籤:

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發表於2024-11-29

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Reliability of Mems 在線電子書著者簡介

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Reliability of Mems 在線電子書圖書描述

This first book to cover exclusively and in detail the principles, tools and methods for determining the reliability of microelectromechanical materials, components and devices covers both component materials as well as entire MEMS devices. Divided into two major parts, following a general introductory chapter to reliability issues, the first part looks at the mechanical properties of the materials used in MEMS, explaining in detail the necessary measuring technologies -- nanoindenters, bulge methods, bending tests, tensile tests, and others. Part Two treats the actual devices, organized by important device categories such as pressure sensors, inertial sensors, RF MEMS, and optical MEMS.

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