Electroceramic Based Mems 在線電子書 pdf 下載 txt下載 epub 下載 mobi 下載 2024

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Setter, Nava 編作者

Springer Verlag

譯者

2005-3 出版日期

428 頁數

$ 247.47 價格

HRD

叢書系列

9780387233109 圖書編碼

Electroceramic Based Mems 在線電子書圖書標籤:

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發表於2024-11-13

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Electroceramic Based Mems 在線電子書著者簡介

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Electroceramic Based Mems 在線電子書圖書描述

The book is focused on the use of functional oxide and nitride thin films to increase functionality and application range of MEMS (microelectromechanical systems) in the large sense, including micro-sensors, micro-actuators, and electronic components for high frequency communications. The book covers major topics and is divided into two parts (a) applications and emerging applications, and (b) materials, fabrication technologies, and functioning issues.

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