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泛结构化微机电系统集成设计方法
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简体网页||繁体网页
作者
译者
1970-1 出版日期
218 页数
30.00元 价格
丛书系列
9787561227589 图书编码

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发表于2024-11-24

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泛结构化微机电系统集成设计方法 在线电子书 图书描述

《泛结构化微机电系统集成设计方法》提出和建立了泛结构化微机电系统集成设计方法，系统性地论述了其理论体系和关键技术。本方法是在对当前微机电系统集成设计工具的体系结构、基础理论、关键技术及发展趋势等方面进行归纳和总结的基础上，提出的一种新的方法和理论，是对当前通用的微机电系统结构化设计方法的重要发展和提高。依据本方法实现了国产微机电系统集成设计工具（MEMS Garden），并结合大量典型和复杂MEMS器件实例验证了本方法和设计工具的实用性和先进性。

《泛结构化微机电系统集成设计方法》可供微机电系统相关学科的科研人员参考。

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