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泛結構化微機電係統集成設計方法

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作者
譯者
1970-1 出版日期
218 頁數
30.00元 價格
叢書系列
9787561227589 圖書編碼

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發表於2024-11-08

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泛結構化微機電係統集成設計方法 在線電子書 圖書描述

《泛結構化微機電係統集成設計方法》提齣和建立瞭泛結構化微機電係統集成設計方法,係統性地論述瞭其理論體係和關鍵技術。本方法是在對當前微機電係統集成設計工具的體係結構、基礎理論、關鍵技術及發展趨勢等方麵進行歸納和總結的基礎上,提齣的一種新的方法和理論,是對當前通用的微機電係統結構化設計方法的重要發展和提高。依據本方法實現瞭國産微機電係統集成設計工具(MEMS Garden),並結閤大量典型和復雜MEMS器件實例驗證瞭本方法和設計工具的實用性和先進性。

《泛結構化微機電係統集成設計方法》可供微機電係統相關學科的科研人員參考。

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