《半導體材料(第2版)》是為大學本科與半導體相關的專業編寫的教材。《半導體材料(第2版)》介紹主要半導體材料矽、砷化鎵等製備的基本原理,工藝和特性的控製等。全書分11章:第1章為矽和鍺的化學製備;第2章為區熔提純;第3章為晶體生長;第4章為矽、鍺晶體中的雜質和缺陷;第5章為矽外延生長;第6章為Ⅲ-Ⅴ族化閤物半導體;第7章為Ⅲ-Ⅴ族化閤物半導體的外延生長;第8章為Ⅲ-Ⅴ族多元化閤物半導體;第9章為Ⅱ-Ⅵ族化閤物半導體;第10章為氧化物半導體材料;第11章為其他半導體材料。
《半導體材料(第2版)》也可以作為從事與半導體相關研究工作的科研人員和相關專業研究生的參考書。
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半導體材料(第2版)
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