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等离子体放电原理与材料处理
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作者
科学出版
蒲以康 译者
2007-3 出版日期
535 页数
75.00元 价格
丛书系列
9787030186591 图书编码

等离子体放电原理与材料处理 在线电子书 图书标签: 低温等离子体  科学出版社  材料处理  机械工程   

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发表于2024-06-28

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等离子体放电原理与材料处理 在线电子书 图书描述

《等离子体放电原理与材料处理》全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理，以及工业等离子体材料处理的原理，并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积，离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用，反映本领域的最新研究进展。《等离子体放电原理与材料处理》共18章，内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体，以及气体放电的动理论等。

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